Truth Instruments Co., Ltd.
Dynamiser l'innovation scientifique grâce à la mesure de précision, fournir un équipement fiable pour l'industrie manufacturière
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En utilisant des effets magnéto-optiques de Kerr polaires/longitudinaux (MOKE), cet instrument détecte rapidement et globalement le magnétisme des films de wafer.La mesure sans contact évite les dommages aux plaquettes et convient aux essais d'échantillonnage post-patterning dans la production de puces spinIl fournit un champ magnétique vertical allant jusqu'à 2,5 T et un champ magnétique en plan allant jusqu'à 1,4 T,avec des champs magnétiques puissants induisant des couches libres et de référence qui se retournent dans des piles de films à mémoire aléatoire (MRAM) à accès magnétique anisotrope verticalementLa sensibilité de détection de Kerr ultra-haute permet de caractériser en une seule fois les changements magnétiques subtils dans différentes couches de film.La combinaison de la sonde laser point par point avec l'imagerie par balayage permet de créer rapidement des cartes de caractéristiques magnétiques globales des plaquettes, aidant à l'optimisation des processus et au contrôle du rendement.
| Indicateur des performances de l'équipement | Définition |
|---|---|
| Taille de l'échantillon | Compatible avec 12 pouces et moins, prend en charge les tests de fragments |
| Le champ magnétique | Pour les véhicules à moteur à combustion interne, le réglage de la température doit être effectué à l'aide d'un régulateur. |
| Résolution du champ magnétique | Régulation de la rétroaction en boucle fermée PID, 0,01 mT |
| Uniformité du champ magnétique | Meilleur que ± 1%@Φ1 mm |
| Résolution de l'angle de Kerr | 0.3 mdeg (RMS) |
| Test de l'efficacité | 12 WPH@±1,3 T /9 sites de mesure/200 mm de plaque |
| Répétabilité de l'échantillon | Meilleur que 10 μm |
| Temps de fonctionnement | 90% |
| Le FEMP | Optionnel |
| Fonctions de test | Mesure non destructive de la boucle d'hystérésis des piles/dispositifs de films magnétiques, extraction automatique des informations de la boucle d'hystérésis (couche libre et couche fixée Hc, Hex, M (valeur de l'angle de Kerr)),et une cartographie rapide de la distribution des caractéristiques magnétiques des plaquettes |
Résultats des mesures de la boucle d'hystérésis des piles de films MRAM verticales
Résultats de la mesure de la boucle d'hystérésis des piles de films MTJ anisotropes en plan
Différents modes d'analyse
Carte de répartition caractéristique du champ magnétique d'une gaufre anisotrope verticale de 12 pouces