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Contrôleur liquide LVC 414 de vaporisateur de vapeur de l'ASM LVC414
| Marque/fabricant | ASM/USA |
| Numéro de la pièce | LVC414 |
| Numéro de la pièce alternatif | LVC414 |
| Description | Contrôleur liquide de vaporisateur de vapeur |
| Dimennsions | 6.3cm x 11,4 cm X 15,0 cm |
| Poids | 0.55kg |
Détails de produit
Le contrôleur électronique LVC-414 de vaporisateur a été exactement mesure et contrôle conçus
le taux d'écoulement de la masse (grammes/minute) de matériaux de dopage en variant l'écoulement du gaz porteur par a
barboteur contenant le matériau de base.
Les matériaux incluent SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 et BBr3. L'autre boîte matérielle de dopage
aussi être commandé, à condition que ils se vaporisent avec à concentration appropriée pour précis
ratiodetection. Les gaz porteurs incluent H2, lui, N2, O2 et l'AR.
Trois sorties sont fournies :
Source (0 à +5VDC).
Transporteur (0 à +5VDC)
Rapport (0 à +5VDC).
Ces sorties peuvent être surveillées avec n'importe quel voltmètre de C.C de 5 volts avec une sensibilité de 1000
ohms/volt ou plus. Une valve intégrée varie le taux d'écoulement de la masse de transporteur pour commander la source
le gramme/mn a choisi par une tension de contrôle externe.
Un petit paquet simple contient la section de débitmètre, détecteur de rapport, soupape de commande et
l'électronique
CARACTÉRISTIQUES
ÉCOULEMENT MINIMUM DE GAZ PORTEUR : 5% du maximum
ÉCOULEMENT MAXIMUM DE SOURCE : Jusqu'à 40 grammes/mn de complet
GAMME DE PRESSION DE FONCTIONNEMENT : 10-40 différentiel de livre par pouce carré
PRESSION DE GAZ MAXIMUM : 60 psig
TEMPÉRATURE AMBIANTE DE GAZ ET DE TEMPÉRATURE AMBIANTE : 60-90°F (15-35°C) jusqu'à 43°C sur la demande spéciale
RÉPONSE : 10 secondes à moins de 4% de point de consigne
GAZ PORTEURS : Hydrogène, hélium, azote, oxygène ou argon, gaz mélangé
RÉPÉTABILITÉ : ± 0,5% de complet
SENSIBILITÉ DE PRESSION : ± 0,25% de complet pour des pressions de 10 à 40 Psid
EXACTITUDE ET LINÉARITÉS : ± 4,0% de complet sur la plage entière de fonctionnement
ARRANGEMENT DE COMMANDE : 0,1 à 5 volts continu
INDICATION DE SORTIE :
1. SOURCE : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au taux d'écoulement de la masse de liquide vaporisé
2. TRANSPORTEUR : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au taux d'écoulement de la masse de gaz porteur
3. RAPPORT : 0.1-5 volts continu linéairement de proportionnel au rapport de l'écoulement de vapeur (SCCM) à l'écoulement de transporteur
(SCCM) a mesuré avec 5 volts continu = 50%
IMPÉDANCE DE SORTIE : 10 ohms de maximum
ONDULATION : 50 système mv pp maximum
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| HMS | AB7000-C | FOXBORO | FBM242 |
| IAI | DS-S-C1-L DSSC1LDS | FOXBORO | FCM10E |
| IAI | PDR-I-200L-2 | FOXBORO | P0903CW |
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