Le bras robotique en céramique joue un rôle dans la manutention des équipements semi-conducteurs.Il est équivalent à la main du robot de l'équipement de semi-conducteurs et est responsable de transporter des puces de silicium de plaquette à l'emplacement spécifiéComme la puce en silicium de la plaque est extrêmement vulnérable à d'autres particules, elle est généralement réalisée dans un environnement sous vide.
Dans cet environnement, le bras robotisé de la plupart des matériaux est généralement difficile à terminer le travail.À cette heure-ciIl existe deux types de bras robotiques en céramique générale, l'un est le bras robotique en céramique d'alumine,et l'autre est un bras robotique en céramique au carbure de silicium.
La céramique d'alumine et la céramique de carbure de silicium présentent des propriétés physiques de qualité dense, d'une dureté élevée et d'une résistance élevée à l'abrasion, ainsi qu'une bonne résistance thermique.excellente résistance mécaniqueIl s'agit d'un excellent matériau pour fabriquer des bras robotiques de matériel semi-conducteur.
Mais en termes de performance, le bras robotisé en céramique de silicium est meilleur que le bras robotisé en céramique d'alumine.
Les produits céramiques à base de carbure de silicium sont généralement fabriqués à partir de micro-remplissages de carbure de silicium de haute pureté et ultra-fin.La teneur en carbure de silicium est supérieure à 990,1% et la densité du produit est ≥ 3,10 g/cm3.
