--Chambre de traitement en verre : ∮100mm ; 130mm haut.
--Taille d'étape de spécimen : ∮40mm (tasses de spécimen de prise 6)
--Taille d'or de cible :
∮58mm*0.12mm (épaisseur)
--Détection de vide : Mesure de Pirani
--Protection de vide : PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle
--Gaz moyen : L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle.

A50.7011 Ion Sputter Coater
Puits à dépression	Diamètre 100mm*H130mm
Étape de spécimen	Diamètre 40mm (tasses de spécimen de prise 6)
Cible de pulvérisation d'or	Diamètre 58mm*0.12mm (épaisseur)
Mesure de vide	Mesure de Pirani
Pompe à vide	Rotation Vane Pums : 2L/s
Point de protection de vide	20Pa avec la valve d'inflation de micro-échelle
Gaz fonctionnant	L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle
Tension de pulvérisation	1.6KV
Poids brut	48kg
Conformité	CE

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