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4.5 - topographie extérieure élevée Eco SEM de microscope à balayage électronique du rapport optique 6nm
La microscopie électronique de balayage (les PSEM) convient à l'observation de la topographie extérieure des métaux, de la céramique, des semi-conducteurs, des minerais, de la biologie, des polymères, des composés et des matériaux unidimensionnels, bidimensionnels et tridimensionnels de nano-échelle (image d'électron secondaire, image d'électron rétrodiffusée). Elle peut être employée pour analyser les composants de point, de ligne et de surface du microregion. Elle est très utilisée dans le pétrole, la géologie, le domaine minéral, l'électronique, le gisement de semi-conducteur, la médecine, le champ de biologie, l'industrie chimique, le domaine des matériels de polymère, l'enquête criminelle de la sécurité publique, l'agriculture, la sylviculture et d'autres champs.
Filament SEM de tungstène d'A63.7062 Eco | ||
Résolution | 4.5nm@30KV (SE) ; 6nm@30KV (ESB) | |
Rapport optique | Rapport optique négatif : 15x~250000x ; Rapport optique d'écran : 30x~500000x | |
Canon électronique | La cathode-Pré passionnée de tungstène a centré le filament Carteidge de tungstène | |
Tension de accélération | 0~30KV | |
Système de lentille | Lentille électromagnétique à trois nivaux (lentille conique) | |
Ouverture objective | Ouverture de molybdène réglable en dehors du système de vide | |
Étape de spécimen | Étape de cinq haches | |
Chaîne de voyage | X (automobile) | 0~50mm |
Y (automobile) | 0~50mm | |
Z (manuel) | 0~25mm | |
R (manuel) | 360º | |
T (manuel) | -5º~90º | |
Max Specimen Diameter | 150mm | |
Détecteur | Détecteur électronique secondaire de vide poussé (avec la protection de détecteur) | |
Modification | Hausse d'étape ; EBL ; STM ; AFM ; Étape de chauffage ; Étape de Cryo ; Étape de tension ; manipulateur de Micro-nano ; Machine de SEM+Coating ; SEM+Laser | |
Accessoires | CCD, laboratoire6, détecteurderayon X(EDS), EBSD, CL, WDS, machinederevêtement | |
Système de vide | Pompes moléculaires de Turbo ; Pompe de rotation | |
Courant de faisceau d'électrons | 10pAt~0.1μA | |
PC | Dell Work Station adapté aux besoins du client |
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