four de essai de cohérence élevée de four électrique de laboratoire de CVD de l'atmosphère 1200C
Caractéristiques de four d'Eelctric de laboratoire de tube :
Taux de dépôt élevé de film : La technologie de lueur de rf, augmentant considérablement le taux de dépôt du film, le taux de dépôt peut atteindre 10Å/S
Uniformité élevée de secteur : La technologie de alimentation multipoint avancée de rf, la distribution de chemin de gaz et la technologie de chauffage spéciale, etc., font la portée 8% d'index d'uniformité de film
Cohérence élevée : utilisant le concept de construction avancé de l'industrie de semi-conducteur, la déviation entre les substrats d'un dépôt est moins de 2%
Stabilité de processus élevée : L'équipement fortement stable assure le processus continu et stable
Paramètre technique principal de four électrique de CVD de laboratoire SUPERBE de tube :
| Nom et modèle de produit |
Four électrique du laboratoire SP-1200T-84 |
| Taille de chauffage de tube (OD×L) |
Dia80x400mm |
| Matériaux d'isolation de chambre |
fibre légère d'oxyde d'aluminium en céramique |
| Température maximale |
temps de travail 1200°C ( < 3="" hours="">
|
| La température fonctionnante |
400-1100°C (réglable, pendant le long temps) |
| Contrôle de température |
30 segments intelligents programmables et contrôle automatique de PID |
| Taux de chauffage |
1-15℃/min (réglable) |
| Exactitude de la température |
±1℃ |
| Thermocouple |
Type de K |
| Élément de chauffe |
fil de résistance |
| Vide final |
-0.1Mpa |
| Les caractéristiques de pompe à vide modèlent |
0.5A, taux de pompage 0.5L/S, puissance 120W |
| Coquille de four |
Double coquille avec le refroidissement de fan |
| Mode d'affichage de la température |
Liquide Crystal Display de quatre figures |
| Puissance fonctionnante |
C.A. 1 phase, 110V-240V, 50Hz/60Hz |
| Fonction disponible |
module de communication d'ordinateur et interface de communication RS485 installés, pour réaliser l'à télécommande. |
Modèle standard de four de tube de CVD de SP-1200T
| Modèle |
Zone de chauffage (OD×L millimètres) |
Puissance de travail |
Caractéristiques de pompe à vide |
| SP-1200T-53 |
Φ50x300 millimètre (2,0" X12 ») |
C.A.
1-phase/3-phase
110V-400V
50Hz/60Hz.
|
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-54 |
Φ50x400 millimètre (2,0" x16 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-55 |
Φ50x500 millimètre (2,0" x20 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-63 |
Φ60x300 millimètre (2,5" X12 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-64 |
Φ60x400 millimètre (2,5" x16 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-65 |
Φ60x500 millimètre (2,0" x20 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-83 |
Φ80x300 millimètre (3,2" X12 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-84 |
Φ80x400 millimètre (3,2" x16 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-104 |
Φ100x400 millimètre (4,0" x16 ») |
TW-0.5A ; 0.5L/S ; 120W ; 110V/220V |
| SP-1200T-154 |
Φ150x400 millimètre (6,0" x16 ») |
TW-1A ; 1L/S ; 120W ; 110V/220V |
Délais de livraison :
♥ pour quelques fours normaux et composants de taille standard, nous avons en stock ; Ainsi nous pouvons envoyer en 2 ou 3 jours ;
Le ♥ d'autres tailles adaptées aux besoins du client le délai de livraison est de 15 jours à de 20 jours selon la demande différente de produits.
Notre garantie :
Une garantie limitée d'an avec l'appui de vie, à l'exclusion de l'élément de chauffe et du tube en céramique endommagés par l'utilisateur.
Attention : Aucun dommage causé en employant les gaz corrosifs et acides, et aucun dommage de mal pour fonctionner et employer ne sont sous la couverture de la garantie d'One Year Limited.
