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Dépôt de pulvérisation de magnétron dans le domaine de revêtement d'Anti-décoloration
Applications
| Applications | But spécifique | Type matériel |
| revêtement d'Anti-décoloration | Revêtement d'antioxydation de métal précieux | Al2O3, TiO2 |
Principe de fonctionnement
Les électrons se heurtent sans interruption des atomes d'argon dans le procédé de mouvement, ionisant un grand nombre d'ions d'argon à
bombardez la cible. Après des collisions multiples, l'énergie des électrons diminue graduellement. Les électrons se cassent loin
de la restriction de la ligne de la force magnétique, gardez à partir de la cible, et finalement du dépôt sur le substrat.
Caractéristiques
| Modèle | MSC-ADC-X-X |
| Type de revêtement | Divers films diélectriques tels que l'oxyde de film métallique, de métal et AIN |
| Température ambiante de revêtement | La température normale à 500℃ |
| Taille de revêtement de puits à dépression | 700mm*750mm*700mm (personnalisable) |
| Vide de fond | < 5="">-7mbar |
| Épaisseur de revêtement | ≥ 10nm |
| Précision de contrôle d'épaisseur | ≤ ±3% |
| Taille de revêtement maximum | ≥ 100mm (personnalisable) |
| Uniformité d'épaisseur de film | ≤ ±0.5% |
| Transporteur de substrat | Avec le mécanisme planétaire de rotation |
| Matériel de cible | pouces 4×4 (compatibles avec 4 pouces et ci-dessous) |
| Alimentation d'énergie | Les alimentations d'énergie telles que C.C, impulsion, rf, SI et la polarisation sont facultative |
| Gaz de processus | L'AR, N2, O2 |
| Note : Production adaptée aux besoins du client disponible. | |
Échantillon de revêtement
Étapes de processus
Le → placent le substrat pour enduire dans le puits à dépression ;
Le → vacuumize rudement ;
Le → tournent sur la pompe moléculaire, vacuumize à grande vitesse, puis tournent sur la révolution et la rotation ;
→ chauffant le puits à dépression jusqu'à ce que la température atteigne la cible ;
Le → mettent en application le contrôle de température constant ;
Le → nettoient des éléments ;
Le → tournent et de nouveau à l'origine ;
Film de revêtement de → selon des conditions de processus ;
Le → bas la température et arrêtent l'ensemble de pompe après le revêtement ;
Le → cessent de fonctionner quand l'opération automatique est de finition.
Nos avantages
Nous sommes fabricant.
Processus mûr.
Réponse dans un délai de 24 heures de travail.
Notre certification d'OIN
Parties de nos brevets
Parties de nos récompenses et qualifications de R&D