Xi'an Kacise Optronics Co.,Ltd.
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Le détecteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 536
Introduction du produit
Le capteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 536 est basé sur la technologie infrarouge non dispersif (NDIR). Il peut mesurer avec précision des gaz tels que WF6, CF4, SF6, NF3,et CO2 générés dans les applications de semi-conducteursIl est compatible avec les dimensions prédéfinies, les brides et les protocoles de communication communs à l'intérieur des équipements. Il peut être utilisé pour la détection des points d'extrémité dans les processus de dépôt et de nettoyage des semi-conducteurs,ainsi que la détection de terminaux pour le nettoyage des chambres, ce qui permet de réduire le temps de nettoyage, de réduire les coûts et d'augmenter la production.
Caractéristiques du produit
Paramètres techniques
| Paramètre | Détails |
| Principe de détection | Résultats de l'enquête |
| Gaz détectés | Les émissions de gaz à effet de serre sont calculées à partir de l'échantillon de CO2 |
| Plage de mesure | Pour les appareils à combustion électrique |
| Répétabilité | ± 0,5% |
| Linearité | ± 1% F.S. |
| Limites de détection | 1 ppm |