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Wafer de saphir C-Plane à A 1° de coupe, 99,999% Al2O₃, Diamètre 2 "/3"/4"/6"/8", épaisseur personnalisée
C' est ça.plaquettes en saphir de haute précisioncaractéristiques aOrientation hors coupure de 1° du plan C à l'axe Aet99pureté de 0,999% (5N), optimisé pour une croissance épitaxielle supérieure dans les applications optoélectroniques et semi-conducteurs avancées.diamètres standard (2" à 8")Avec des épaisseurs personnalisables, il offre une uniformité cristallographique exceptionnelle, une densité de défaut ultra-faible et une excellente stabilité thermique/chimique.L'angle de découpe de 1° contrôlé améliore l'épitaxie du GaN et de l'AlN en réduisant les défauts de groupage par étapes, ce qui le rend idéal pour les LED hautes performances, les diodes laser, l'électronique de puissance et les appareils RF.
Caractéristiques essentielles de la gaufre en saphir
Précision de l'orientation hors coupure
Plan C vers l'axe A 1° ± 0,1° hors coupure, conçus pour améliorer l'uniformité du film épitaxial et minimiser les défauts dans les dispositifs à base de GaN.
Ultra-haute pureté (5N Al)2O3) Les produits
990,999% de puretéavec des traces d'impuretés (Fe, Ti, Si) < 5 ppm, assurant des performances électriques et optiques optimales.
Démétriers: 2", 3", 4", 6", 8" (tolérance de ± 0,1 mm).
Épaisseur: 100 μm à 1 500 μm (tolérance ± 5 μm), adapté à des applications spécifiques.
Polissage prêt à l'épinectomie: Ra < 0,5 nm (versant avant) pour le dépôt de film mince sans défaut.
Stabilité thermique: point de fusion ~ 2,050°C, adapté aux procédés à haute température (MOCVD, MBE).
Transparence optique: > 85% de transmission (UV à infrarouge moyen: 250 nm ∼ 5 000 nm).
Robustesse mécanique: 9 Dureté de Mohs, résistant à l'écorce chimique et à l'abrasion.
Applications de la gaufre en saphir
Optoélectronique
LED/diodes laser à base de GaN: LED bleues/UV, micro-LED et VCSEL.
Fenêtres laser à haute puissance: CO2 et composants laser excimères.
Électronique de puissance et RF
Transistors à haute mobilité électronique (HEMT): amplificateurs de puissance 5G/6G et systèmes radar.
Diodes Schottky et MOSFET: Dispositifs haute tension pour véhicules électriques.
Industrie et défense
fenêtres IR et dômes de missiles: Haute transparence dans des environnements difficiles.
Capteurs à saphir: couvertures résistantes à la corrosion pour la surveillance industrielle.
Les technologies quantiques et de recherche
Substrats pour les qubits supraconducteurs(informatique quantique).
Cristaux SPDC (conversion spontanée paramétrique vers le bas)pour l'optique quantique.
Semi-conducteurs et MEMS
autres produits de fabrication à base de siliciumpour les circuits intégrés avancés.
Capteurs de pression MEMSnécessitant une inerté chimique.
Les spécifications
Paramètre |
Valeur |
---|---|
Diamètre | 2", 3", 4", 6", 8" (± 0,1 mm) |
Épaisseur | Pour une utilisation personnalisée (100 ‰ 1500 μm ± 5 μm) |
Les orientations | Plan C à A 1° ± 0,1° de déviation |
La pureté | 990,999% (5N Al2O3) |
Roughness de surface (Ra) | < 0,5 nm (prêt pour l'épidémiologie) |
Densité de dislocation | < 500 cm2 |
TTV (variation totale de l'épaisseur) | < 10 μm |
Arche/courbe | < 15 μm |
Transparence optique | 250 ‰ 5000 nm (> 85%) |
Questions et réponses
Le premier trimestre: Puis-je demander un angle de découpe différent (par exemple 0,5° ou 2°)?
R2: Je ne sais pas. - Je suis désolé.Les angles de découpe personnalisés (0,2° ∼5°) sont disponibles avec une tolérance de ±0,1°.
Q2: Quelle est l'épaisseur maximale disponible?
A6: le nombre de pointsJusqu'à1,500 μm (1,5 mm)pour la stabilité mécanique dans les applications à haute contrainte.
Q3: Comment les galettes doivent-elles être stockées pour éviter la contamination?
A10: Les données de référenceConserver danscassettes conformes aux normes de la salle blancheou des armoires d'azote (20°C à 25°C, humidité < 40%).