SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
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ZMSH est spécialisée dans la fabrication sur mesure de plaquettes de quartz de 3 pouces, offrant des solutions sur mesure pour les applications optoélectroniques, MEMS et semi-conducteurs avancées. Contrairement aux plaquettes standard de 2 pouces, les plaquettes de quartz de 3 pouces offrent une surface élargie pour l'intégration de plusieurs composants, permettant des appareils de haute précision avec des performances améliorées. Les principales caractéristiques sont les suivantes: Je suis désolée.
· Matériau : Silice fusionnée de haute pureté (SiO2) avec une teneur en hydroxyles de < 50 ppm, assurant une perte optique ultra-faible.
· Dimensions: diamètres et épaisseurs personnalisés (3,00" ±0,02") (0,5251,200 mm, TTV ≤10 μm). Je suis désolée.
· Formes: Géométries circulaires, carrées ou irrégulières avec ouvertures non standard, bords en degrés ou épaisseur de gradient. Je suis désolée.
· Finition de surface: surfaces ultra-lisses (Ra ≤ 1,0 nm) pour une dispersion minimale de la lumière.
| PAramètre | Spécification |
| Diamètre | 3 pouces (76,2 mm) |
| Tolérance à l'épaisseur | ± 0,02 mm |
| Roughness de la surface | ≤ 1 nm (de qualité polissée) |
| Transmittance @193 nm | > 92% |
| ÉTC (RT-300°C) | 00,55 × 10−6/°C |
| Le parallélisme | ≤ 5 μm |
| Compatibilité sous vide | 10−9 Torr |
1. Supériorité optique
- Transmission spectrale large: > 92% de transmission de 185 nm (UV) à 3500 nm (IR), idéale pour la lithographie UV et la détection quantique.
- Faible expansion thermique: CTE de 0,52 × 10−6/°C, maintenant la stabilité dimensionnelle jusqu'à 1100°C.
2Résistance mécanique et chimique
- Haute dureté: échelle de Mohs 7, résistant à l'abrasion et aux chocs mécaniques.
- Résistance aux acides: durabilité 30 fois supérieure à celle de la céramique, adaptée à des environnements chimiques agressifs.
3Performance électrique
- Isolation: résistance > 1018 Ω·cm, réduisant la capacité parasitaire dans les circuits à haute fréquence.
- Compatibilité SAW: optimisé pour les filtres à ondes acoustiques de surface (SAW) avec des angles de coupe précis (par exemple, 34,33° pour la coupe FC).
1. les appareils MEMS avancés
Des capteurs de pression, des gyroscopes et des têtes d'impression à jet d'encre utilisant des plaquettes de 3 pouces pour une intégration multicouches et une stabilité thermique.
2Systèmes optoélectroniques
- les diodes laser UV, les collimateurs à fibre optique et les composants LiDAR nécessitant des voies optiques à faible perte.
3. Emballage des semi-conducteurs
- des substrats d'emballage au niveau des plaquettes (WLP) pour les capteurs d'image CMOS et les RFIC, prenant en charge la technologie TSV (Through-Silicon Via).
4Les technologies quantiques.
- Substrats pour les centres à vide d'azote en diamant (NV) et les qubits supraconducteurs, bénéficiant d'une très faible densité de défaut.
Les capillaires de quartz de ZMSH sont conçus pour des applications microfluidiques et optiques, avec:
- Tailles personnalisées:"Système de détection de la pollution atmosphérique" (1) Je suis désolée.
- Ultra-haute pureté:< 1 ppm d'impuretés métalliques pour la biocompatibilité dans les systèmes de laboratoire sur puce. Je suis désolée.
- Traitement:Perçage laser, formage thermique et gravure chimique pour une intégration transparente dans les capteurs ou les fibres optiques.
1Q: Pourquoi choisir des plaquettes de quartz de 3 pouces?
R: Les plaquettes de quartz de 3 pouces offrent un équilibre entre efficacité de coût et performance, en soutenant l'intégration multi-couches pour les capteurs MEMS, les filtres optiques,et des emballages à base de semi-conducteurs avec une silice fondue de haute pureté (OH− < 50 ppm) et une expansion thermique ultra-faible (CTE 0).52 × 10−6 °C). Je suis désolée.
2. Q: Quelles sont les principales applications des plaquettes de quartz de 3 pouces?
R: Ils sont largement utilisés dans l'optique laser UV, les composants en fibre optique, les gyroscopes MEMS et les emballages de semi-conducteurs avancés (par exemple, TSV et WLP),utilisant leur rugosité de surface < 1 nm et leur transmission optique > 92%,.
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Je suis désolée.