SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
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Les cloches en quartz ZMSH sont fabriquées à partir de matériaux en quartz de haute pureté, spécialement conçus pour répondre aux exigences rigoureuses de la fabrication moderne de semi-conducteurs et des environnements de procédés sous vide. Tirant parti d'une stabilité thermique et d'une inertie chimique exceptionnelles, ce produit démontre une aptitude remarquable dans des procédés critiques tels que l'oxydation des plaquettes, le recuit des semi-conducteurs et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Conçues pour une intégration transparente, les cloches en quartz ZMSH sont entièrement compatibles avec divers systèmes et chambres à vide de type cloche, garantissant des performances élevées et une fiabilité opérationnelle. La structure en quartz de haute pureté offre une durabilité remarquable et des performances stables à long terme, qu'elles soient utilisées dans des configurations de cloches à vide en verre ou dans des scénarios de procédés à haute température.
S'appuyant sur l'expertise de ZMSH dans la fabrication de composants en quartz pour semi-conducteurs, nos cloches en quartz résistent non seulement aux conditions de haute température, mais maintiennent également une pureté extrême des matériaux pendant les procédés critiques. Ces cloches sont largement applicables dans les laboratoires de recherche et les équipements industriels, contribuant à une cohérence accrue des procédés et à une amélioration de l'efficacité globale des systèmes sous vide.
Vous trouverez ci-dessous un aperçu des principaux paramètres des cloches en quartz dans les générateurs de plasma pour semi-conducteurs, mettant en évidence les spécifications clés :
| Catégorie de paramètres | Paramètres spécifiques | Remarques/Explication |
| Propriétés des matériaux | Pureté : ≥99,999 % (grade 5N) Résistance à la température : ≥1000 °C à long terme, jusqu'à 1200 °C à court terme Coefficient de dilatation thermique : ~5,5 × 10⁻⁷/°C |
Une grande pureté est essentielle pour réduire la contamination ; un faible coefficient de dilatation garantit la stabilité thermique |
| Dimensions géométriques | Diamètre : Jusqu'à des centaines de millimètres (compatible avec différents outils) Structure : Forme de cloche (dôme) ou cylindrique |
Les dimensions doivent correspondre à la chambre de réaction et à la taille du substrat |
| Performances optiques | Transmission : Transmission élevée des longueurs d'onde de l'ultraviolet profond à l'infrarouge | Facilite la surveillance optique et la détection des points finaux du procédé |
| Compatibilité des procédés | Vide supportable : Vide poussé (par exemple, 10⁻⁶ ~ 10⁻⁹ Torr) Résistance à la corrosion par le plasma : Résiste aux gaz de procédé courants comme le CF₄, l'O₂ |
Garantit un fonctionnement stable à long terme dans des environnements plasma difficiles |
Le rôle de la cloche en quartz dans un générateur de plasma pour semi-conducteurs peut être compris comme « créant et protégeant l'espace idéal pour les réactions plasma ».
1. Conception et structure
2. Norme de haute pureté
3. Stabilité thermique
4. Inertie chimique
5. Transparence optique
6. Compatibilité avec le vide
Sur la base des propriétés ci-dessus, les cloches en quartz sont principalement utilisées dans les principaux procédés de fabrication de semi-conducteurs suivants :
ZMSH est spécialisée dans la fourniture de solutions de matériaux haute performance pour les secteurs des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de la fabrication haut de gamme. Avec des capacités matures dans la personnalisation des composants clés pour les équipements de traitement au plasma, tels que les cloches en quartz, ZMSH utilise des matériaux en quartz de haute pureté adaptés aux exigences des clients en matière d'étanchéité, de résistance à la température et de résistance à la corrosion par le plasma. L'entreprise contrôle avec précision les dimensions, les interfaces de bride et la transmission optique pour garantir des performances stables dans la gravure, le CVD et d'autres procédés.
De plus, ZMSH fournit une gamme de produits personnalisés, notamment des fenêtres et des substrats optiques en saphir, des substrats de dispositifs de puissance en carbure de silicium (SiC), des plaquettes de silicium, des composants personnalisés en quartz et des plaquettes SOI. Ces offres couvrent des services complets, de la préparation des matériaux au traitement de précision (par exemple, la coupe, le meulage, le polissage), répondant aux exigences strictes en matière de dureté, de conductivité thermique et d'isolation dans des secteurs tels que l'électronique grand public, l'aérospatiale et les dispositifs médicaux.
En intégrant la R&D sur les matériaux à un système de fabrication flexible, ZMSH permet le prototypage rapide et la livraison en série de produits non standard, soutenant l'innovation technologique et les mises à niveau des produits pour les clients.
1.Q : Quelle est la fonction principale d'une cloche en quartz dans les procédés plasma pour semi-conducteurs ?
R : La cloche en quartz sert de chambre scellée de haute pureté, offrant un environnement stable pour les réactions plasma. Sa haute transmission de la lumière et sa résistance à la corrosion garantissent l'uniformité et les faibles niveaux de contamination dans les procédés tels que la gravure et le dépôt.
2. Q : Comment déterminer si une cloche en quartz doit être remplacée ?
R : Une cloche en quartz doit être remplacée lorsque le nettoyage répété ou la corrosion par le plasma entraîne une épaisseur inférieure à un seuil de sécurité (par exemple, l'épaisseur aux points de mesure clés s'écarte de la plage de référence), ou lorsque des dépôts de surface excessifs commencent à affecter la stabilité du plasma.
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