Substrat de quartz de plaquette JGS2 de 6 pouces DSP 1mmt Silice fondue pour fenêtre haute performance

Présentation du produit : Plaquette DSP JGS2 de 6 pouces, 1 mm d'épaisseur

Aperçu de la plaquette de quartz JGS2 de 6 pouces​

Le substrat de plaquette DSP (Double-Side Polished - Poli Double Face) JGS2 de 6 pouces avec une épaisseur de 1 mm est un matériau de base de haute précision fabriqué à partir de silice fondue de qualité UV (JGS2)​​. Sa valeur fondamentale réside dans la transmittance optique exceptionnelle du JGS2 sur une large gamme spectrale de 220 nm à 2500 nm​​ (particulièrement adapté aux longueurs d'onde de l'UV au proche infrarouge). De plus, grâce à son coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (environ 5,8×10⁻⁷/K)​​ et sa dureté Mohs élevée (environ grade 7)​​, il maintient une stabilité dimensionnelle et une résistance physique exceptionnelles dans des conditions difficiles telles que les températures élevées et les environnements corrosifs. Ce substrat subit un polissage double face, atteignant une rugosité de surface nanométrique. Il est principalement utilisé dans des domaines haut de gamme, notamment la photolithographie des semi-conducteurs, les substrats de filtres optiques haute performance, les dispositifs de communication photonique (par exemple, les puces de filtre DWDM) et les capteurs MEMS​​, fournissant une base matérielle fiable pour les systèmes optiques de précision.

Principaux paramètres​ du substrat de quartz JGS2 de 6 pouces

Caractéristiques du matériau : Silice fondue JGS2​​

Le JGS2 est un verre de quartz optique UV​​ produit par fusion à la flamme hydrogène-oxygène. Ses principales caractéristiques sont les suivantes :

• Excellente performance optique​​ : Le JGS2 présente une transmittance élevée sur une large gamme spectrale de 220 nm à 2500 nm​​, ce qui signifie qu'il permet à la lumière de l'ultraviolet au proche infrarouge de passer efficacement. Cela en fait un matériau idéal pour la fabrication de fenêtres optiques, de substrats de lentilles et d'autres composants.
• ​​Stabilité thermique exceptionnelle​​ : Son coefficient de dilatation thermique extrêmement faible​​ lui permet de résister à des changements de température drastiques sans se fissurer ni se déformer, assurant une stabilité dimensionnelle dans les environnements de traitement à haute température.
• Bonne résistance mécanique et inertie chimique​​ : La dureté élevée et le module de Young offrent une résistance mécanique suffisante, tandis que sa résistance à divers produits chimiques (à l'exception de l'acide fluorhydrique et de l'acide phosphorique chaud) répond aux exigences des environnements industriels rigoureux.

Principaux scénarios d'application de la plaquette JGS2 de 6 pouces

1. Basé sur les propriétés ci-dessus, ce produit est principalement appliqué dans :
2. ​​Procédés de semi-conducteurs​​ : Utilisé comme substrat de plaque de masque ou plaquette porteuse dans des procédés tels que la photolithographie et la gravure, où sa grande pureté et sa stabilité thermique sont cruciales.
3. ​​Fabrication de composants optiques​​ : Sert de matériau de base pour les fenêtres, prismes et filtres haute performance, particulièrement adapté aux systèmes optiques nécessitant une transmission UV.
   ​​Dispositifs de communication photonique​​ : Utilisé dans la fabrication de substrats de filtre pour les systèmes de multiplexage par répartition en longueur d'onde dense (DWDM), où l'homogénéité optique et les faibles pertes sont essentielles.

Questions et réponses sur la plaquette JGS2 de 6 pouces

Q1 : Quels sont les principaux avantages de l'utilisation d'un substrat de plaquette DSP JGS2 de 6 pouces avec une épaisseur de 1 mm pour les applications optiques UV​​ ?
​​A1:​​ Son principal avantage réside dans la transmittance UV exceptionnelle (jusqu'à 220 nm) et le coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (~5,5×10⁻⁷/°C), garantissant une distorsion thermique minimale sous une exposition UV de forte puissance et des performances stables dans des environnements exigeants comme la lithographie des semi-conducteurs ou les systèmes laser.

​​Q2 : Comment l'épaisseur de 1 mm contribue-t-elle aux performances du substrat dans les systèmes de haute précision​​ ?
​​A2:​​ L'épaisseur de 1 mm offre un équilibre optimal entre la résistance mécanique (résistant aux contraintes de manipulation) et la planéité optique, ce qui est essentiel pour maintenir la cohérence du faisceau et réduire la distorsion du front d'onde dans les optiques de précision et les outils de photolithographie.

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