Cleanroom ISO6 protégé de la poussière pour le semi-conducteur
CLEANROOM D'OIN 6 (CLEANROOM DE CLASSE 1 000)
Dans la théorie, pour qu'une salle entière atteignent la propreté d'air d'OIN 6, vous devez entrer dans le cleanroom par l'intermédiaire d'une OIN 8 (vestibule), puis passez par une OIN 7, pour entrer finalement dans l'OIN 6, suivant les indications de l'image.
En réalité cependant, vous pouvez atteindre un cleanroom d'OIN 6 avec 1 (la recommandation est 2) sas. Encore, il dépend de la taille de la salle, du processus ayant lieu à l'intérieur du cleanroom, du nombre de personnes travaillant à l'intérieur, de l'intérieur d'équipement, etc.
La circulation d'air unidirectionnelle est parfois recommandée pour atteindre la classification d'OIN 6. Pour une salle de moins de 4-6 mètres de largeur (selon les activités ayant lieu à l'intérieur du cleanroom), des retours d'air peuvent être placés du côté des murs au lieu de dans le plancher. L'installation des retours d'air dans le plancher est plus chère.
Zone d'OIN 6 | 90-180 changements d'air par heure
Zone d'OIN 7 | 30-60 changements d'air par heure
Zone d'OIN 8 | 15-25 changements d'air par heure (vestibule)
Caractéristiques principales
(1) installation conçue et facile de structure d'Assemblée et facilement déplacée
(2) des roues directionnelles peuvent être installées, approprié au petit bâtiment et au secteur élevé de propreté ;
(3) conception modulaire : la cabine propre peut être aussi petite que plusieurs mètres carrés et peut être aussi grande que des centaines de mètres carrés
(4) il a le grand secteur utile et efficace ; tandis que comparé à la pièce propre traditionnelle, il a de telles caractéristiques comme le bas investissement, rendement élevé et écurie.
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Panneau "sandwich" en acier laminé à froid d'acier/de /Aluminum/Stainless
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Plexiglass, rideau mou, rideau antistatique en bande/panneau "sandwich"
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CONCENTRATION DE PARTICULES DE CLASSIFICATION DE CLEANROOM
La base des normes de cleanroom est le micromètre, ou le micron pour faire court (µm), qui est la taille des particules à filtrer. Pendant qu'indiqué avant, des cleanrooms sont classifiés par combien propre l'air est, selon le nombre de particules et la taille des particules par volume d'air. La table de classification de cleanroom ci-dessous montre les limites de concentration de maximum (particles/m3 d'air) pour des particules égales et plus grandes qu'aux tailles considérées montrées.
Quelques classifications n'exigent pas de certaines dimensions des particules d'être examinées parce que les concentrations respectives sont si basses ou trop hautes pour être examinées, mais elles ne devraient pas être zéro.
