Wuhan Newradar Special Gas Co.,Ltd
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Prémélangement de gaz aux graveurs laser excimères TUIMIX CTXX ArF V3.0
Nom du produit: mélanges de gaz laser
Autres noms: gaz laser au fluorure d'argon (193nm)
Modèle:Les résultats de l'enquête sont publiés dans le Bulletin de l'Union européenne.0
Directeur du produit: Suyee Su
Quel app:008618602768623
Type de produit: ArF,F2/Ar/He/Ne
Le numéro de l'ONU : ONU1956
Volume de la bouteille: 16L, 20L
Le type de soupape: CGA679, DIN 8, DIN 14
Parties des données relatives au produit qui sont les suivantes:
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Spécification |
Certifié Concentration |
Unités
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Méthode d'analyse |
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Les gaz excimères au laser |
Les normes |
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L'azote (N)2) |
≤ 40 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
|
Oxygène (O)2) |
≤ 10 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
Monoxyde de carbone (CO) |
≤ 10 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
Dioxyde de carbone (CO)2) |
≤ 10 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
Autres halocarbures (THC) |
≤ 10 |
≤ 10 |
ppmv
|
GC/PDID |