1100C four à tubes de quartz avec sublimateur de précurseur solide pour les couches 2D de TMD

Résumé du produit pour le four à tubes à anillage thermique à diffusion d'oxydation

Le PTC D110/440/12NG est un four à tubes CVD compact de 1100 °C avec un support de sublimation de précurseur.Les entrées de gaz à quatre canaux sont entièrement construites sur la sublimation, ce qui permet à l'alimentation de divers gaz de transporter la vapeur de source dans le chauffage principal pour une décomposition et un dépôt supplémentaires.Le support de l'échantillon monté sur la bride droite est glissant pour faciliter le chargement/déchargement des échantillons..

Principales caractéristiques

• Système de four CVD compact avec:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" Longueur du tube de quartz (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• Température de travail maximale de 1100oC avec une précision de +/- 1oC
• La bride de refroidissement à l'eau du côté droit est glissante pour faciliter le chargement des échantillons
• La bride de refroidissement à l'eau située sur le côté gauche entre le chauffe-eau et le four est utilisée pour l'entrée de gaz préchauffé et l'étanchéité
• L'entrée de gaz à quatre canaux (tube Dia de 1/8" et raccord de tube) sont intégrés sur la bride du côté gauche
• Un petit chauffe-eau est fixé à la bride du côté gauche du four pour préchauffer le gaz d'entrée, le liquide ou l'évaporateur chimique solide, qui sera ensuite livré au four CVD:
• Veuillez cliquer sur l'image de gauche pour plus de détails:
• 1.2'O.D x 6'L tube SS comme chambre de chauffage
• Vacuum scellé 1" ID petit tube de quartz à l'intérieur du chauffe-eau (Pic 2)
• Température de fonctionnement maximale de 400 °C (un chauffe-eau de 1000 °C est disponible sur demande)
• La bride sur le côté gauche est pour l'étanchéité du gaz et l'entrée

Corbeilles de rampe, de logement et de refroidissement pour les fours de laboratoire de la série 1200

Mesures de sécurité

• Ampère intégré et double voltmètre pour une surveillance et un dépannage faciles.
• La protection contre la surchauffe éteint le four à tubes si la température est en dehors de la plage acceptable (voir le manuel du contrôleur) ou lorsque le thermocouple est cassé ou dysfonctionne
• La protection contre les pannes de courant reprend le fonctionnement du four immédiatement après le point de panne lorsque le courant est rétabli
• Le contrôle PID basé sur le microprocesseur fournit un processus thermique optimal avec un dépassement minimal

Galerie de produits

Dispositif de sublimation de précurseur pour four à tubes CVD

Spécifications techniques

Notes sur la demande

• Ne remplissez pas de gaz explosifs tels que l'hydrogène ou le méthane dans le tube du four sans les contrôles et la supervision de sécurité nécessaires.
• Les fours à tubes de laboratoire avec tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Des petites fissures peuvent apparaître sur la surface de la céramique réfractaire au cours d'une utilisation prolongée.

Comparaison des tailles