Convient pour la production en série de matériaux de dépôt de vapeur tels que l'oxyde de silicium; contrôle de la différence de température de haute précision,
fourneau à vide à haute température; matériau de sublimation, de réaction, de dégraissage, de déshydratation, de dépôt de vapeur à vide élevé
le grattage automatique, la collecte des fourneaux et d'autres capacités de procédés spéciaux.
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