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Chauffe-eau à fluide DI pour le processus de fabrication de semi-conducteurs
Modèle |
PWH-24i |
PWH-48i |
PWH-72i |
PWH-96i |
PWH-144i |
Méthode de chauffage |
Chauffage par rayonnement avec des rayons infrarouges proches |
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Puissance de chauffage |
24kW |
48kW |
72kW |
96kW |
144kW |
Débit standard(e à 55°C) |
6l/min |
12l/min |
18l/min |
24l/min |
36l/minute |
Débit minimal de chauffage |
2l/min |
5l/min |
10l/min |
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Plage de réglage de la température |
25 à 85°C |
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Précision du contrôle de la température |
±1°C ※1 |
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Plage d'indication du débitmètre |
0 à 10l/min |
0 à 50 l/min (. Pas la plage garantie de précision du contrôle de la température) |
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Pression d'eau déminéralisée admissible |
0,4 MP (une pression de décharge : 0,35 MPa) |
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Chauffage |
Lampe halogène.Chauffage indirect sans contact direct avec l'eau |
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Matériau des récipients de chauffage |
Quartz transparent de haute pureté |
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Matériaux mouillés de la tuyauterie |
Polymère fluorocarboné |
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Fonctions de sécurité |
Erreur de débit, surchauffe, fonctionnement sans liquide, déconnexion du capteur de fuite et déconnexion de la lampe Mise hors tension, alarme, indication d'erreur ou sortie de signal en cas de détection d'erreur |
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Fonction de communication externe |
RS-232C/RS-48 (5 options)※2 |
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Fonction entrée/sortie externe |
Signal 8 entrées/14 sorties (varie selon les spécifications) |
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Dimension hors tout(s mm)※3 |
L340×P850×H1384 |
L340×P850×H1384 |
L340×P850×H1584 |
L340×P850×H1986 |
L1050×P700×H2004 |
Lester |
Environ.140 kg |
Environ.150 kg |
Environ.160 kg |
Environ.210 kg |
Environ.410kg |
Puissance requise (t 50/60Hz) |
AC200/208V 69/67A |
AC200/208V 139/133A |
AC200/208V 208/200A |
AC200/208V 277/266A |
AC200/208V 416/400A |
Un système d'alimentation en eau chaude pour de l'eau ultra-pure qui convient parfaitement au point d'utilisation pour le rinçage des tranches de silicium et des substrats en verre des écrans à cristaux liquides.
DI-Water Heater chauffe l'eau purifiée utilisée pour rincer les tranches de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs et de substrats en verre dans la fabrication d'écrans LCD.Les lampes halogènes sont logées dans des tubes en verre de quartz de haute pureté transparents à double paroi pour assurer un chauffage efficace et sans contaminant de l'eau ultra-pure.La conception mince et compacte minimise le point de pied pour l'installation au point d'utilisation.
●Fonctionnalités
1. Nettoyer
Les récipients de chauffage traversés par l'eau et tous les tuyaux de plomberie sont respectivement en verre de quartz de haute pureté et en polymère fluorocarboné.
2. Compacte
L'unité mince et compacte nécessite un encombrement minimal pour l'installation au point d'utilisation.
contrôle de la température 3.ExceIIent
La puissance élevée des lampes halogènes élève rapidement la température et l'ajuste en fonction des variations du débit d'eau.
4.Haute efficacité
Efficacité à plus de 95%.
5. Sécurité
Une sécurité de fonctionnement optimale est assurée par des affichages et des alarmes sonores contre les conditions anormales telles que la surchauffe, le chauffage non chargé, la pression excessive et les fuites d'eau.
●Applications
1. Chauffage de l'eau ultra-pure pour le rinçage des tranches de silicium et des substrats en verre des écrans LCD.
2.Chauffage de l'eau pure utilisée à la place du CFC pour le nettoyage.