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Le bloc de céramique est fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté et ultra-fine par durcissement à haute température.
Principales caractéristiques
Haute pureté, moins d'impuretés, dureté élevée, résistance à l'usure et à la corrosion.
Haute précision, faible coefficient de dilatation thermique et bonne rétention de précision, bonne résistance à l'usure et à la corrosion.
Application du projet
Il est principalement utilisé pour l'amincissement, le polissage dur et le polissage CMP des plaquettes de substrat LED et des plaquettes de semi-conducteurs ((plaquette de saphir, plaquette SiC, plaquette de silicium, plaquette de germanium, plaquette GaAs, plaquette GaN, etc.).
Spécification