Surveillance en ligne la courbure et l'épaisseur de film par le capteur de laser de haute précision
INTRODUCTION
- Le capteur de déplacement de laser est un système qui peut calculer la distance d'une cible par l'à rayon laser. L'à rayon laser émis par le capteur, alors soit reflété de retour par l'objet au déplacement de représentation sur le PSD (dispositif photosensible de position) ou le CCD linéaire à l'intérieur du capteur.
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CARACTÉRISTIQUES
- Le capteur de déplacement de laser est principalement utilisé pour la court-distance, mesure à haute précision. Son exactitude de mesure peut atteindre à 1 micron, à résolution à 0,1 microns, et à linéarités complètes à 0,1%.
- Le capteur de déplacement de laser peut réaliser la mesure de non contact sur la position, le déplacement et d'autres changements de l'objet.
- Il est peut également être employé pour le contrôle de qualité, la mesure dimensionnelle et l'inspection pendant la production.
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SPÉCIFICATIONS
| Modèle |
LDS-02 |
LDS-10 |
LSD-20 |
LDS-50 |
| Chaîne de mesure |
±2mm |
±5mm |
±10mm |
±25mm |
| Résolution |
0.001mm |
0.001mm |
0.01mm |
0.05mm |
| Précision |
±0.001mm |
±0.01mm |
±0.02mm |
±0.1mm |
| Longueur d'onde légère |
670nm |
670nm |
670nm |
670nm |
UTILISATION
-
Thicknes de mesure de film
-
Planéité et gradient de mesure
-
Taille de mesure de précision
L'INFORMATION DE L'ENTREPRISE
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