Pompe Maglev, CXF-320 / 3000E, refroidissement Waterr, ISO-F, contrôleur externe Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique.
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.
Le palier électromagnétique est également appelé "ours à lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.
Les avantages:
1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie
2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes
3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme
4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision
5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine
6. Sans frottement
7. Libre de pollution
8. Libre d'entretien
9. Basse vibration
10. installé dans n'importe quelle orientation.
Les technologies:
- Technologie de contrôle pour roulement magnétique: Lévitation magnétique à 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement opportun au moyen de la technologie de contrôle de suspension magnétique active à circuit fermé dynamique basée sur la théorie de contrôle internationale avancée, de manière à garantir les avantages significatifs de l’arbre à grande vitesse comme fonctionnement stable et fiable.
- Technologie de contrôle d'entraînement: Un moteur à courant continu haute vitesse à haute efficacité et un système de servocommande sont appliqués aux pompes à lévitation magnétique en série, afin de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, fonctionnement fiable et fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
- Technologie des rotors composites en fibre de carbone: Les turbomachines des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont fabriquées en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. Comparés à tous les rotors en alliage d'aluminium, les turbo-rotors se caractérisent par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de sorte que des objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée sont atteints.
- Technologie de résistance à la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont complètement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces à vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
- Système de contrôle de la température de chauffage: Les pompes moléculaires de la série à lévitation magnétique sont équipées d’un réchauffeur électrique et d’un régulateur de température, de sorte que l’eau de refroidissement, le chauffage à air pulsé, le chauffage électrique et la chaleur véhiculée par les gaz de protection les pompes peuvent être maintenues à une certaine valeur à long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives à des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.
Caractéristiques:
| Bride (en) | DN250 ISO-F |
| Bride (Out) KF | DN50 |
| Vitesse de pompage (L / s) | N 2 : 3000 |
| Ar: 2750 |
| Il: 2300 |
| H 2 : 1100 |
| Ratio de compression | N 2 : 10 8 |
| Ar: 10 8 |
| Il: 10 4 |
| H 2 : 10 3 |
| Pression ultime (Pa) | FC: 1 × 10 -6 |
| ISO-K / F: 6 × 10 -6 |
| Max. Pression continue sous vide (Pa) | 40 |
| Max. Pression avant vide | N 2 : 290 |
| Gaz tout au long (sccm) | N 2 : 5800 |
| Ar: 2200 |
| Il: 4300 |
| H 2 : 3100 |
| Vitesse de rotation (tr / min) | 21000 |
| Temps de montée (min) | ≤18 |
| Type de refroidissement, standard | Eau |
| Consommation d'eau de refroidissement (L / min) | 1 |
| Température de l'eau de refroidissement () | 20 |
| Connexion électrique: tension (V CA) | 220 |
| Modèle de contrôleur | CXF-3000 |
| Poids (kg) | 70 |
Applications:
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés à température normale.
