Pompe de Maglev, CXF-250/2301E, refroidissement par l'eau, à bord
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation sont les pompes dont shafting est soutenu en vertu de la force magnétique.
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont équipement de génération de vide développé par KYKY pour répondre à des exigences d'application pour des champs de la fabrication moderne de semi-conducteur, fabrication de puce, électrodéposition industrielle et instruments scientifiques.
Technologies :
- Commandez la technologie pour l'incidence magnétique : un axe 5 a par magnétisme fait de la lévitation, basé sur la théorie de contrôle internationale avancée, pour garantir de tels avantages significatifs de shafting ultra-rapide en tant qu'opération faite de la lévitation et fiable d'écurie.
- Technologie de contrôle d'entraînement de moteur : Système ultra-rapide à haute efficacité de moteur et de servocommande de C.C, ayant l'énergie maximum du moteur et pour compenser la vitesse tournante de shafting automatiquement, de ce fait réalisant le démarrage stable, l'opération fiable et la fonction de réglementation automatique de l'énergie dynamique.
- Technologie composée de rotor de fibre de carbone : Fait en composant l'alliage d'aluminium de haute résistance et la fibre légère de carbone. caractérisé de la grande réduction de poids et de la grande amélioration de la force, de sorte que des cibles de la vitesse tournante élevée, de la haute performance et de la fiabilité élevée soient réalisées.
- Technologie de résistance de corrosion : Des surfaces des parties dans les chambres sont traitées avec le processus spécial, de sorte que les surfaces puissent résister à la corrosion provoquée par les gaz corrosifs dans des processus de fabrication de semi-conducteur pendant longtemps. En outre, les gaz inertes tels que le N2 sont entièrement shafting dedans rempli des pompes pour protéger les basses pièces de vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'épuiser stablement les gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisée.
- Système de contrôle de température de chauffage : équipé d'un radiateur électrique et d'un contrôleur de température, l'eau de refroidissement, le chauffage d'air-os, le chauffage électrique et la chaleur portés par les gaz protecteurs peuvent être surveillés et commandés lors du fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur pour le long terme, quelques substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à la température normale et ne sont pas déposées dans les pompes, et des exigences pour le processus spécial telles gravure à l'eau-forte peuvent être répondues.
Applications :
Des pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont principalement appliquées aux champs de la fabrication de semi-conducteur, la fabrication d'agrafe, l'électrodéposition industrielle et les instruments scientifiques, particulièrement à l'extraction des gaz corrosifs existant dans gravure à l'eau forte, CVD, PVD et implantation ionique et gaz facilement coagulés à la température normale.
Caractéristiques :
| Bride (dedans) |
DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
| Bride () KF |
DN40 |
| Vitesse de pompage (L/s) |
N2 : 2300 |
| L'AR : 2250 |
| Il : 1900 |
| 2:850de H |
| Taux de compression |
2h10 8 de N |
| L'AR : 108 |
| Il : 104 |
| 2h10 3 de H |
| Pression d'Ultimated (PA) |
CF : 1×10-6 |
| ISO-K/F : 6×10-6 |
| Pression d'Avant-vide de Max. Continuous (PA) |
60 |
| Pression maximale d'Avant-vide |
N2 : 250 |
| Gaz dans tout (sccm) |
N2 : 3600 |
| L'AR : 1400 |
| Il : 2800 |
| 2:2100de H |
| Vitesse de rotation (T/MN) |
27000 |
| Temps de point fixe (minute) |
≤11 |
| Type de refroidissement, standard |
L'eau |
| Consommation d'eau de refroidissement (l/min) |
1 |
| Température de l'eau de refroidissement (℃) |
20 |
| Connexion de puissance : Tension (C.A. de V) |
220 |
