Pompe de Maglev, CXF-320/3001E, refroidissement par l'eau, ISO-F, à bord
L'incidence électromagnétique s'appelle également « les ours faits de la lévitation magnétiques actifs », se composant d'une incidence magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a la réponse dynamique et l'ajustement opportun, shafting ultra-rapide et l'opération fiable.
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation sont les pompes dont shafting est soutenu en vertu de la force magnétique.
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont équipement de génération de vide développé par KYKY pour répondre à des exigences d'application pour des champs de la fabrication moderne de semi-conducteur, fabrication de puce, électrodéposition industrielle et instruments scientifiques.
Avantages :
1. Frottement nul lors du fonctionnement, et consommation de puissance faible
2. Facile d'acquérir le vide poussé vraiment propre et le vide très poussé sans lubrification pour des pompes
3. Capable d'extraire les gaz corrosifs pour le long terme
4. Sécurité élevée et longue durée de vie dues à la protection des incidences avec les boules en céramique de précision
5. fonction génératrice de puissance en cas de puissance- soudaine
6. Exempt du frottement
7. Exempt de la pollution
8. Exempt de l'entretien
9. Basse vibration
10. installé dans toute orientation.
Applications :
Des pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont principalement appliquées aux champs de la fabrication de semi-conducteur, la fabrication d'agrafe, l'électrodéposition industrielle et les instruments scientifiques, particulièrement à l'extraction des gaz corrosifs existant dans gravure à l'eau forte, CVD, PVD et implantation ionique et gaz facilement coagulés à la température normale.
Caractéristiques :
| Modèle |
CXF-320/3001 |
| Vitesse de pompe (l/s, air) |
3200 |
| Taux de compression |
>1×108 |
| Vide final (PA) |
≤5×10-7 |
| Bride d'admission |
ISO-F 320 |
| Bride de débouché |
KF 40 |
| Vitesse de rotation (T/MN) |
24000 |
| Temps de point fixe (minute) |
12 |
| VIB (millimètre) |
<0.05 |
| Pompe de support (L/s) |
15 |
| Support ou ientation |
Quels |
| Méthode de refroidissement |
L'eau |
| Poids (kilogramme) (avec le contrôleur) |
75 |
Technologies :
- Commandez la technologie pour l'incidence magnétique : un axe 5 a par magnétisme fait de la lévitation, basé sur la théorie de contrôle internationale avancée, pour garantir de tels avantages significatifs de shafting ultra-rapide en tant qu'opération faite de la lévitation et fiable d'écurie.
- Technologie de contrôle d'entraînement de moteur : Système ultra-rapide à haute efficacité de moteur et de servocommande de C.C, ayant l'énergie maximum du moteur et pour compenser la vitesse tournante de shafting automatiquement, de ce fait réalisant le démarrage stable, l'opération fiable et la fonction de réglementation automatique de l'énergie dynamique.
- Technologie composée de rotor de fibre de carbone : Fait en composant l'alliage d'aluminium de haute résistance et la fibre légère de carbone. caractérisé de la grande réduction de poids et de la grande amélioration de la force, de sorte que des cibles de la vitesse tournante élevée, de la haute performance et de la fiabilité élevée soient réalisées.
- Technologie de résistance de corrosion : Des surfaces des parties dans les chambres sont traitées avec le processus spécial, de sorte que les surfaces puissent résister à la corrosion provoquée par les gaz corrosifs dans des processus de fabrication de semi-conducteur pendant longtemps. En outre, les gaz inertes tels que le N2 sont entièrement shafting dedans rempli des pompes pour protéger les basses pièces de vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'épuiser stablement les gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisée.
- Système de contrôle de température de chauffage : équipé d'un radiateur électrique et d'un contrôleur de température, l'eau de refroidissement, le chauffage d'air-os, le chauffage électrique et la chaleur portés par les gaz protecteurs peuvent être surveillés et commandés lors du fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur pour le long terme, quelques substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à la température normale et ne sont pas déposées dans les pompes, et des exigences pour le processus spécial telles gravure à l'eau-forte peuvent être répondues.
