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Pompe de Maglev, CXF-320/3001E, refroidissement par l'eau, ISO-F, à bord
L'incidence électromagnétique s'appelle également « les ours faits de la lévitation magnétiques actifs », se composant d'une incidence magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a la réponse dynamique et l'ajustement opportun, shafting ultra-rapide et l'opération fiable.
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation sont les pompes dont shafting est soutenu en vertu de la force magnétique.
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont équipement de génération de vide développé par KYKY pour répondre à des exigences d'application pour des champs de la fabrication moderne de semi-conducteur, fabrication de puce, électrodéposition industrielle et instruments scientifiques.
Avantages :
1. Frottement nul lors du fonctionnement, et consommation de puissance faible
2. Facile d'acquérir le vide poussé vraiment propre et le vide très poussé sans lubrification pour des pompes
3. Capable d'extraire les gaz corrosifs pour le long terme
4. Sécurité élevée et longue durée de vie dues à la protection des incidences avec les boules en céramique de précision
5. fonction génératrice de puissance en cas de puissance- soudaine
6. Exempt du frottement
7. Exempt de la pollution
8. Exempt de l'entretien
9. Basse vibration
10. installé dans toute orientation.
Applications :
Des pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation de série sont principalement appliquées aux champs de la fabrication de semi-conducteur, la fabrication d'agrafe, l'électrodéposition industrielle et les instruments scientifiques, particulièrement à l'extraction des gaz corrosifs existant dans gravure à l'eau forte, CVD, PVD et implantation ionique et gaz facilement coagulés à la température normale.
Caractéristiques :
Modèle | CXF-320/3001 |
Vitesse de pompe (l/s, air) | 3200 |
Taux de compression | >1×108 |
Vide final (PA) | ≤5×10-7 |
Bride d'admission | ISO-F 320 |
Bride de débouché | KF 40 |
Vitesse de rotation (T/MN) | 24000 |
Temps de point fixe (minute) | 12 |
VIB (millimètre) | <0.05 |
Pompe de support (L/s) | 15 |
Support ou ientation | Quels |
Méthode de refroidissement | L'eau |
Poids (kilogramme) (avec le contrôleur) | 75 |
Technologies :