Pompe d'ion, 3L-400C, DN150CF, 420L/s air, 85L/s AR, -5KV
la pompe de Pulvériser-ion est équipement de génération de vide pour obtenir le vide propre et très poussé. La pompe d'ion fonctionne dans un système fermé qui n'exige pas la pompe fonctionnante continue de support.
Avantages :
Cette série de pompe a des avantages tels que la propreté, le bruit de degré de vide poussé et nul, la vibration zéro et la commodité en fonction.
Applications :
La pompe de pulvériser-ion est pompe principale d'ensemble de vide moins très poussé d'huile, et elle peut être appliquée aux appareillages scientifiques d'expérience tels que l'accélérateur de particules de grande énergie, l'appareillage commandé de réaction thermonucléaire, le dispositif de vide électrique, le matériel de semi-conducteur, le microscope électronique et le spectromètre de masse, et tout autre équipement industriel exigeant le vide très poussé.
Principe :
Le matériel de l'anode est baril d'acier inoxydable, et matériel de plat d'istitanium de cathode. Le parquage du procédé de décharge ionise le gaz sous l'action commune du champ magnétique et du champ électrique, de ce fait réalisant l'épuisement du gaz.
La pompe d'ion de triode est améliorée pour augmenter le taux de pompage pour le gaz inerte ; des ions du gaz inerte sont soumis à l'incidence rasante dans la grille titanique de la cathode, puis neutralisés, et reflétés au mur et à l'anode de pompe pour être enterré avec le film titanique. Car le gaz inerte enterré dans le mur de pompe ne sera pas dû libéré au bombardement positif d'ion, la vitesse de pompage pour le gaz inerte est augmentée.
Caractéristiques :
| Modèle |
3L-400C |
| Bride |
DN150CF |
| Vitesse de pompage (L/S) |
(air) |
420 |
| Vitesse de pompage |
(L'AR) |
85 |
| Pression de démarrage (Pa) |
≤5×10-4 |
| pression finale (Pa) |
1×10-8 |
| température de cuisson (de ℃) |
|
<200 |
| Avec magnétique |
| Sans magnétique |
<300 |
| tension locale (kilovolt) |
-5 |
| unité d'électrode |
4 |
| dimension (millimètre) |
200×140 (4-M12) |
| L*W*H (millimètre) |
500×265×600 |
| poids (kilogramme) |
153 |
