Commande externe de moteur de refroidissement par l'eau de pompe à vide de Maglev Pump Turbo de contrôleur

Pompe de Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF, refroidissement par l'eau, contrôleur externe

Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation sont les pompes dont shafting est soutenu en vertu de la force magnétique, répondant à des exigences d'application pour des champs de la fabrication moderne de semi-conducteur, de la fabrication de puce, de l'électrodéposition industrielle et des instruments scientifiques.

Technologies :

• Technologie de contrôle pour l'incidence magnétique : un axe 5 a par magnétisme fait de la lévitation, basé sur la théorie de contrôle internationale avancée, pour garantir de tels avantages significatifs de shafting ultra-rapide en tant qu'opération faite de la lévitation et fiable stable.
• Technologie de contrôle d'entraînement de moteur : Système ultra-rapide à haute efficacité de moteur et de servocommande de C.C, ayant l'énergie maximum du moteur et pour compenser la vitesse tournante de shafting automatiquement, de ce fait réalisant l'opération de démarrage et fiable stable et la fonction de réglementation automatique de l'énergie dynamique.
• Technologie composée de rotor de fibre de carbone : Fait en composant l'alliage d'aluminium de haute résistance et la fibre légère de carbone. caractérisé de la grande réduction de poids et de la grande amélioration de la force, de sorte que des cibles de la vitesse tournante élevée, de la haute performance et de la fiabilité élevée soient réalisées.
• Technologie de résistance de corrosion : Des surfaces des parties dans les chambres sont traitées avec le processus spécial, de sorte que les surfaces puissent résister à la corrosion provoquée par les gaz corrosifs dans des processus de fabrication de semi-conducteur pendant longtemps. En outre, des gaz inertes tels que le N2 sont entièrement complétés shafting des pompes pour protéger les basses pièces de vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'épuiser stablement les gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisée.
• Système de chauffage de contrôle de température : équipé d'un radiateur électrique et d'un contrôleur de température, l'eau de refroidissement, le chauffage d'air-os, le chauffage électrique et la chaleur portés par les gaz protecteurs peuvent être surveillés et commandés lors du fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur pour le long terme, quelques substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à la température normale et ne sont pas déposées dans les pompes, et des exigences pour le processus spécial tel gravure à l'eau-forte peuvent être répondues.

Les avantages :

Ceci pompe ont les avantages, tels que le frottement nul lors du fonctionnement, et la consommation de puissance faible, faciles d'acquérir le vide poussé vraiment propre et le vide très poussé sans lubrification pour des pompes, capable d'extraire les gaz corrosifs pour la sécurité à long terme et élevée et longue la durée de vie dues à la protection des incidences avec les boules en céramique de précision et de la fonction génératrice de puissance en cas de puissance- soudaine. Il a des advatages en tant qu'exempt de frottement, de pollution et d'entretien et avec la basse vibration, et peut être installé dans n'importe quelle orientation.

Applications :

Extraction des gaz corrosifs existant dans gravure à l'eau forte, CVD, PVD et implantation ionique et gaz facilement coagulés à la température normale dans les domaines de la fabrication de semi-conducteur, de la fabrication d'agrafe, de l'électrodéposition industrielle et des instruments scientifiques.

Spécifications :