Instrument d'Ion Sputtering, SBC-12, cible disponible pour l'Au, AG, Cu, Al
La TECHNOLOGIE Cie., Ltd de KYKY, a été fondée en 1958, le pionnier de la technologie de vide et optique électronique en Chine. Pendant les dernières 60 années, KYKY a été consacré à fournir les solutions complètes de vide aux clients partout dans le monde.
KYKY a inventé le premier ensemble de pompe moléculaire de Turbo, de détecteur de fuite commercial d'hélium et de microscope à balayage électronique en Chine.
En 1970 s, KYKY, branche de SEM de KYKY a avec succès développé le premier microscope à balayage électronique en Chine.
Dispositif d'enduction de pulvérisation pour la préparation témoin de SEM, prétraitement non conducteur d'échantillon.
Gaz moyen : air ou l'argon, avec l'admission d'argon et le microrégleur d'inflation d'air. Disponible adapté aux besoins du client, par exemple (équiper de la mesure d'épaisseur de revêtement)
Avantages :
petite taille ; opération conviviale ; adapté à la majeure partie de la cible en métal ; Mode d'argon disponible.
Caractéristiques :
| Diamètre fonctionnant de chambre : |
75-150mm |
| Système de vide |
Pompe rotative pour l'évacuation, 2L/s |
| Taux de dépôt : |
2-10 nm/min |
| Puissance : |
220V/50Hz |
| Chambre de traitement en verre |
∮100mm ; 130mm haut. |
| Taille d'étape de spécimen : |
∮40mm (tasses de spécimen de prise 6) |
| Taille d'or de cible : |
∮58mm*0.12mm (épaisseur) |
| Détection de vide : |
Mesure de Pirani |
| Protection de vide : |
PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle |
| Gaz moyen : |
L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle. |
Applications :
Premade de spécimen pour l'électron de balayage (capable de pulvérisation, or. argenté, de cuivre, titanique et en aluminium. )
