En tant que Kyky sur 60 ans d'expérience de fabrication SEM, toute la série EM prend en charge l'ancien système rénové et personnalisé en tant que SEM +, tels que le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, la mise à niveau de Lab6, intégrée à STM, AFM, stade de chauffage; étage cryo; étape de tension; détecteur de micro-nano, etc.
Le microscope électronique à balayage EM69 avec une excellente imagerie, une large gamme de pièces jointes d'expansion, des modules à vide faible en option et des fonctions d'automatisation riches, diverses possibilités de personnalisation.
Advanteges:
◆ Modules à vide faible en option (LVSE, LVBSE)
◆ Fonctions d'automatisation riches
◆ Personnalisation du système colonne / chambre / électrique
◆ Chambre de grande taille en option
◆ Caméra de navigation sur le terrain large
◆ Pièces jointes riches en expansion
Caractéristiques:
| Article |
EM6910 Tungsten Filament SEM |
| Résolution |
SE: 3NM @ 30KV, 8NM @ 3KV ； BSE: 4NM @ 30KV |
| Grossissement |
1x-450000X |
| Pistolet électronique |
Filament de tungstène pré-aligné |
| Accélération de la tension |
0,2 kV-30KV
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Système d'aspirateur
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Turbo Molecular Pump + Pompe mécanique
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| Ouverture objective |
Molybdenum Aperture Réglable Système d'aspirateur à l'extérieur |
| Étape de l'échantillon |
Étape de cinq axes |
| Voyage |
X (auto) |
0 ~ 80 mm |
| Gamme |
Y (auto) |
0 ~ 50 mm |
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Z (manuel) |
0 ~ 30 mm |
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R (manuel) |
360 ° |
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T (manuel) |
-5 ° ~ 70 ° |
| Diamètre du spécimen maximum |
175 mm |
| Détecteur |
Détecteur d'électrons secondaires
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Détecteur d'ESB semi-conducteur ※
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CCD infrarouge
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| SED à faible vacuum ※ / BSED-VACUUM ※
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| Modification |
Mise à niveau de la scène; EBL; STM; AFM; Étape de chauffage; Étape cryo; Étape de traction; Micro-Nano Manipulateur; Machine de revêtement SEM +; SEM + laser |
| Accessoires |
Lab6, détecteur de rayons X (EDS), EBSD, CL, WDS, machine à revêtement |
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Fonction de vide faible ※
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Niveau de vide 10-270pa SE: 4NM @ 30KV, 50PA
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