Microscope électronique à balayage d'émission à haute résolution Kyky-EM8100 avec de nouvelles conceptions optiques électroniques telles que la technologie d'accélération du baril de l'objectif et la lentille d'objectif conique à faible aberration. Il réalise l'imagerie sous-nanomètre à basse tension, a une large applicabilité à divers matériaux et peut répondre aux besoins de test de divers domaines de recherche scientifique et industriels.
En tant que Kyky sur 60 ans d'expérience de fabrication SEM, toute la série EM prend en charge l'ancien système rénové et personnalisé en tant que SEM +, comme le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, le remodelage du faisceau d'ions de mise au point, l'intégration de STM, AFM, stade de chauffage; stade cryo; stade de traction; détecteur de micro-nano etc.
EM8000 est la première microscopie électronique à balayage Schottky en Chine qui a été lancée à 2014, il avait reçu un certain nombre de commentaires positifs du marché, en particulier du client universitaire.
Résolution: SE 0.9 nm@30KV ； 3NM @ 1KV
Gromnification: 1x-3000000x / grossissement optique 1x-100x
Pistolet électronique: pistolet d'émission de terrain Schottky
Tension d'accélération: 0,2kV-30KV
Système d'aspirateur: 1 pompe à ions de pulvérisation, 1 pompe combinée Getter ion, 1 pompe à turbo-turbo de lévitation magnétique, 1 pompe sèche
Configurations du détecteur:
• Détecteur d'électrons secondaires à vide élevé
• Caméra CCD infrarouge
• Navigation optique
• Quatre segmentation Détecteur de rétrodiffusion rétractable ※
Échantillon d'étape: étape automatique automatique à cinq axes
• x = 150 mm
• y = 150 mm
• z = 65 mm
• t = -10 ° ～ + 90 °
• r = 360 °
Fonction d'alarme anti-collision
Exemples de spécifications:
Diamètre d'échantillon maximal: ф320 mm
Hauteur d'échantillon maximum: 90 mm
Accessoires en option:
EDS / EBSD / STEM / CL / Chambre de transition Loadlock
Étape de chauffage / étape de refroidissement / étape de traction, etc.
