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Paramètres détaillés
Aperture<3 millimètre
Longueur d'onde 1064nm
Représentation dynamique
Mme de l'erreur de cheminement 0,16
Temps de réponse d'étape
1% de 0,40 Mme complète
Mme 10%of 1,2 complète
Speeds5.0 typique m/s
Poids (sans objectif) 3 kilogrammes
lentille du f-thêta f=254 (174*174) ±40
Speci commun
(tous les angles sont en degrés optiques)
Représentation dynamique
Μrad 2 de la répétabilité (RMS) <
Dérive excentrée < 30 µrad/K
Dérive de gain < 80 ppm/K
Dérive à long terme plus de 8 heures < 0,3 mrad
Représentation optique
Angle typique ±0.35 rad de balayage
Erreur de gain < 5 mrad
Zéro compensé < 5 mrad
Non-linéarité < 3,5 mrad/44°
Alimentation électrique
Pour le C.C DE X/Y de ±15 V, maximum 3 A chacun
Pour Z ±15 V 3A
Protocole Digital XY2-100

