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Graphite PECVD – Description de qualité industrielle
Le graphite PECVD est un composant en graphite haute performance spécialement conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Fabriqué à partir de graphite à grain fin et de très haute pureté, il offre une excellente stabilité thermique, une conductivité uniforme et de faibles niveaux d'impuretés, essentiels pour les environnements sensibles à la contamination. Sa microstructure optimisée assure une interaction cohérente avec le plasma et un dépôt de film uniforme sur les substrats. Avec une faible dilatation thermique et une forte résistance au choc thermique, le graphite PECVD maintient son intégrité dimensionnelle lors de cycles de température rapides. Des revêtements de surface optionnels améliorent encore la résistance à l'oxydation et la durée de vie. Largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et les systèmes de dépôt de couches minces, il garantit un contrôle précis des processus, la répétabilité et une fiabilité opérationnelle à long terme.
| Qualité |
Masse volumique (g/cm³) |
Résistivité électrique (µΩ·m) |
Résistance à la compression (MPa) |
Résistance à la flexion (MPa) |
Dureté Shore |
Teneur en cendres (ppm) |
Cendres purifiées : Graphitisation (ppm) |
Cendres purifiées : Produit (ppm) |
Coefficient de dilatation thermique (×10⁻⁶/°C) |
Conductivité thermique W/(m·K) |
Module de Young (GPa) |
Applications |
| CDI-1A |
1,85 |
10-13 |
90 |
45 |
60 |
300 |
50 |
5 |
5,5 |
133 |
11,5 |
Semi-conducteurs, Zone de chauffe dans l'industrie PV, Frittage de céramiques, Four sous vide |
| CDI-1B |
1,8 |
10-13 |
86 |
40 |
55 |
300 |
50 |
5 |
5,4 |
121 |
10 |
Semi-conducteurs, Zone de chauffe dans l'industrie PV, Frittage de céramiques, Four sous vide |
| CDI-1C |
1,82 |
11-15 |
100 |
48 |
58 |
300 |
50 |
5 |
5,6 |
120 |
10,6 |
Semi-conducteurs, Zone de chauffe dans l'industrie PV, Frittage de céramiques, Four sous vide |
| CDI-1D |
1,75 |
12-16 |
80 |
40 |
58 |
300 |
50 |
5 |
5,8 |
108 |
10 |
Semi-conducteurs, Zone de chauffe dans l'industrie PV, Frittage de céramiques, Four sous vide |
