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Composants en graphite pour l'industrie des semi-conducteurs
Solutions graphite haute performance conçues pour les processus de fabrication de semi-conducteurs :
- Pieds en graphite monoblocs verticaux, en forme de disque, avec revêtement SiC en surface pour équipements d'épitaxie de silicium
- Creusets en graphite de très haute pureté pour la production de carbure de silicium monocristallin
- Accessoires spécialisés pour le traitement des semi-conducteurs :
- Électrodes en graphite, blocs de support et couvercles de blindage pour l'implantation ionique
- Électrodes en graphite pour la gravure plasma
- Moules, gabarits de haute qualité et gabarits pour le conditionnement des semi-conducteurs
- Composants de traitement à haute température :
- Creusets en graphite, nacelles et accessoires pour le chauffage par induction
- Traitement des matériaux semi-conducteurs à l'oxyde de germanium et fondus par zone
- Applications de fusion de métaux de haute pureté
- Chauffages en graphite et couvercles d'isolation thermique pour les processus Czochralski
- Chauffages et électrodes en graphite de haute pureté pour la production de saphir par méthode HEM
Spécifications techniques
| Qualité |
Masse volumique (g/cm³) |
Résistivité électrique (μΩ⋅m) |
Résistance à la compression (MPa) |
Résistance à la flexion (MPa) |
Dureté Shore |
Teneur en cendres (ppm) |
Dilatation thermique (*10⁻⁶/°C) |
Conductivité thermique W/(m⋅K) |
Module de Young (GPa) |
Applications |
| CDI-S1 |
1.8 |
12.5 |
90 |
45 |
58 |
5 |
4.5 |
105 |
10 |
Semi-conducteur |
| CDI-S20 |
1.8 |
10 |
75 |
43 |
50 |
5 |
4.3 |
140 |
9 |
Semi-conducteur |
| CDI-S3 |
1.78 |
11 |
85 |
40 |
45 |
5 |
3.8 |
120 |
10 |
Semi-conducteur |
