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Cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène
1. Description de cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène :
La préparation des cibles de pulvérisation de magnétron d'alliage de molybdène-cuivre est principalement par la méthode d'infiltration. D'abord, la poudre de molybdène avec la dimension particulaire brute est employée pour agglomérer dans un squelette de billette de molybdène, et puis infiltrée dans le liquide de cuivre pour obtenir des alliages de molybdène-cuivre avec le contenu de cuivre différent. Les alliages obtenus de molybdène-cuivre, l'organisation fine, le bon arc cassant la représentation, la bonne conductivité électrique, la bonne conduction thermique, et la petite dilatation thermique. Utilisant la poudre de haute qualité de molybdène et la poudre de cuivre en l'absence d'oxygène, appliquant le pressing isostatique, et agglomérant pour obtenir un alliage de molybdène-cuivre avec le contenu de cuivre élevé, qui a l'excellente représentation. l'alliage de Molybdène-cuivre est les matériaux composites plus fortement que semblables de tungstène-cuivre de 40%, et a une conduction thermique plus élevée, des propriétés thermiques et mécaniques, et des propriétés de dilatation thermique.
2. Paramètre de cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène :
| Catégorie | Contenu % de MOIS | Contenu % de Cu | Densité (g/cm3) | Conduction thermique (W/M.K) | Coefficient de dilatation thermique (10-6 /K) |
| Mo85Cu15 | 85±1 | Équilibre | 10 | 160~180 | 6,8 |
| Mo80Cu20 | 80±1 | Équilibre | 9,9 | 170~190 | 7,7 |
| Mo70Cu30 | 70±1 | Équilibre | 9,8 | 180~200 | 9,1 |
| Mo60Cu40 | 60±1 | Équilibre | 9,66 | 210~250 | 10,3 |
| Mo50Cu50 | 50±1 | Équilibre | 9,54 | 230~270 | 11,5 |
| Mo40Cu60 | 40±1 | Équilibre | 9,43 | 280~290 | 11,8 |
3. Produit chimique de cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène :
| Catégorie | Contenu % d'alliage | Contenu d'élément d'impureté (maximum.<> | |||||||||
| MOIS | Cu | W | Magnésium | Ca | Fe | C | N | H | O | L'autre quantité d'impureté | |
| Mo40Cu60 | Restez | 60±2.0 | 0,015 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,015 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
| Mo45Cu55 | Restez | 55±2.0 | |||||||||
| Mo50Cu50 | Restez | 50±2.0 | |||||||||
| Mo55Cu45 | Restez | 45±2.0 | |||||||||
| Mo60Cu40 | Restez | 40±2.0 | |||||||||
| Mo65Cu35 | Restez | 35±2.0 | |||||||||
| Mo70Cu30 | Restez | 30±2.0 | |||||||||
| Mo75Cu25 | Restez | 25±2.0 | |||||||||
| Mo80Cu20 | Restez | 20±2.0 | |||||||||
| Mo85Cu15 | Restez | 15±2.0 | |||||||||
| Mo90Cu10 | Restez | 10±2.0 | |||||||||
4. Méthode de production de cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène :
Méthode liquide d'agglomération de phase : Après que la poudre mélangée de molybdène-cuivre soit pressée et formée, elle est agglomérée pendant la phase liquide à 1300-1500°. Les matériaux préparés par cette méthode ont l'uniformité pauvre, beaucoup de vides fermés, et la densité est habituellement inférieure à 98%. Elle peut améliorer l'activité d'agglomération, améliorant de ce fait la densité de l'alliage de cuivre de molybdène. Cependant, le nickel a activé l'agglomération réduira de manière significative l'élém. élect. et la conduction thermique du matériel, et l'introduction des impuretés dans l'alliage mécanique réduira également la conductivité du matériel ; la méthode de Co-réduction d'oxyde pour préparer des poudres est encombrante dans le processus, basse dans l'efficacité de production, et difficile à produire en série.
Méthode squelettique d'infiltration de molybdène : D'abord, la poudre de molybdène est pressée dans la forme, et agglomérée dans un squelette de molybdène avec une certaine porosité, et alors le cuivre est infiltré. Cette méthode convient aux produits d'en cuivre de molybdène avec le bas contenu de cuivre. Bien que la résistance thermique ne soit pas aussi bonne que celle du cuivre de tungstène, il est meilleur que quelques matériaux résistants à la chaleur, ainsi la perspective d'application est meilleure.
5. Caractéristique de cible de pulvérisation de magnétron d'alliage de cuivre de molybdène :
l'alliage de Molybdène-cuivre combine les avantages du cuivre et le molybdène, la densité de haute résistance et élevée, la résistance à hautes températures, la résistance d'ablation d'arc, bons élém. élect. et la conduction thermique, et bon traitant la représentation. Utilisant la poudre de haute qualité de molybdène et la poudre de cuivre en l'absence d'oxygène, appliquant le pressing isostatique (infiltration à hautes températures d'agglomérer-cuivre) pour assurer la pureté de produit et le rapport précis, la structure fine et l'excellente représentation. Le bon arc cassant la représentation, bonne conductivité électrique, bonne conduction thermique, la dilatation thermique est petit.
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