Dongguan Amber Purification Engineering Limited
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Nouveau type unité de filtrage de fan de salle propre FFU de la circulation d'air laminaire FFU
La flexibilité du système de nettoyage est très importante pour des usines d'IC en raison de sa flexibilité élevée et taux élevé de couverture. Si la propreté dans l'atelier a besoin d'ajustement régional comme changements de processus, la propreté dans des secteurs locaux peut être changée en changeant le volume de l'air de FFU ou en remplaçant le plat aveugle. Une fois en masse couvert, le taux de couverture peut atteindre 85,5%.
Le plafond supérieur du FFU est une pression négative, qui peut jouer un rôle de cachetage de pression négative. La pression atmosphérique dans le plafond est pression négative, et la pression atmosphérique dans la propreté est plus grande que la pression dans l'espace de plafond. S'il y a un espace entre le FFU et le joint de parenthèse, la pression négative empêchera l'air ne passant pas par le filtre de HEPA d'entrer dans la salle, qui favorise assurer la propreté de la salle propre.
La résistance du système pneumatique est petite, la vitesse du vent à la bouche d'air est basse, et la région au vent du FFU est grande, et la résistance de circulation d'air est au sujet de 50Pa ; Le secteur sectionnel du conduit d'air de retour est également grand, et la résistance du conduit d'air de retour est dans 15Pa ; La résistance du plancher perforé et du gril est petite. Toute la résistance d'air de retour (plancher perforé y compris et conduit d'air de gril), de résistance de FFU et de résistance de filtre final est moins que 250Pa. La vitesse du vent de débouché de FFU est généralement 0.38~0.45m/s.
La consommation basse d'énergie par volume de l'air d'unité après que FFU soit adopté, là n'est aucun besoin d'ajouter une fan de propulseur et une salle spéciale de machine, et la résistance de la canalisation d'alimentation en air est évitée. Quand le moteur de DC/EC (redresseur électronique) est adopté pour FFU, l'efficacité du moteur peut atteindre 75%~80%, et chaque ensemble peut conduire le contrôle réglementaire de vitesse selon la chute de tension de filtre pour sauver la consommation d'énergie. Par conséquent, la consommation d'énergie par volume de l'air d'unité est généralement inférieure au système centralisé de grandes fans centrifuges.
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