AWM42300V Capteur de débit d'air de masse de gaz de microbridge pour sortie analogique de gaz sec

Description du produit:

AWM42300V Capteur de débit d'air de masse de gaz de microbridge pour sortie analogique de gaz sec

Caractéristiques:

Sensor de débit de masse de gaz de la série AWM40000, non amplifié (mV), plage débit/pression: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Type d'interface: multiforme.

opération

Le principe du capteur de débit de masse de gaz microbridge est le transfert de chaleur.Le débit de masse du gaz est guidé à travers la surface de l'élément de détection.La tension de sortie est proportionnelle à la masse d'air ou d'autres gaz qui circulent à travers l'entrée et la sortie du boîtier.Un boîtier spécialement conçu dirige et contrôle de manière optimale le débit d'air à travers les éléments de détection microstructurés.L'emballage est mécaniquement conçu pour être facilement monté sur une carte de circuit imprimé.

Le capteur de débit de masse de gaz de microbridge contient une puce de silicium avancée basée sur une technologie de microstructure avancée.La puce utilise un film mince et une structure de pont adiabatique avec un élément de chauffage et de détection de température.La structure de pont peut réagir rapidement et sensiblement au flux d'air d'air ou d'autres gaz qui circulent à travers la puce.Les deux éléments de détection situés de chaque côté de l'élément de chauffage central indiquent également la direction et la vitesse de débit.Le film d'épaisseur et la résistance du film corrigés au laser assurent une interchangeabilité constante d'un capteur à l'autre à tout moment.

Les capteurs de débit de masse de gaz de microbridge utilisent des résistances thermiques enveloppées dans des films de nitrure de silicium.Ces résistances sont suspendues, formant deux ponts au-dessus de la cavité de gravure de la puce de silicium.La puce est placée dans un canal de débit d'air de taille *** pour fournir une réponse de débit répétable.En gravant la cavité sous le pont de détection du débit, le chauffeur et la résistance de détection peuvent obtenir une isolation thermique efficace.La petite taille et la fonction d'isolation thermique du capteur de débit de masse de gaz de microbridge permettent d'obtenir une réponse à la vitesse maximale et une sensibilité élevée au débit d'air.

Wheatstone Twin Bridges contrôle la mesure du débit d'air - l'un fournit un contrôle de chauffage en boucle fermée et l'autre contient des éléments de détection doubles.Le circuit de chauffage réduit la variation de puissance causée par les changements de température ambiante en fournissant une puissance proportionnelle au débit de masse.Ce circuit maintient la température du chauffage à une différence de température constante au-dessus de la température ambiante (160°C), qui est déterminée par la mesure de la résistance thermique sur la puce.La sortie du dispositif est proportionnelle à la tension d'alimentation et correspond également à la tension différentielle du circuit de pont Wheatstone.

Les spécifications: