capteur micro AWM42300V de mètre d'écoulement de la masse de gaz de pont de ±1000sccm

capteur micro AWM42300V de mètre d'écoulement de la masse de gaz de pont de ±1000sccm

capteur AWM42300V d'écoulement de la masse de gaz de Micro-pont de ±1000sccm

Caractéristiques :

Le capteur d'écoulement de la masse de gaz de Microbridge utilise la résistance thermique enveloppé dans une couche mince de nitrure de silicium. Ces résistances sont suspendues et forment deux ponts au-dessus de la cavité de gravure à l'eau-forte de la gaufrette de silicium. La puce est placée dans le meilleur canal de flux d'air de spécifications pour fournir la réponse qu'on peut répéter d'écoulement. En gravant à l'eau-forte la cavité sous l'écoulement sentant le pont, l'appareil de chauffage et sentant la résistance réalisent l'isolement thermique efficace. La petite taille et la fonction thermique d'isolement du capteur d'écoulement de la masse de gaz de micro-pont réaliser la réponse rapide et la sensibilité élevée au flux d'air.

Mesure de flux d'air de contrôle de jumeau-pont de Wheatstone - on fournit le contrôle en circuit fermé d'appareil de chauffage, l'autre contient de doubles éléments de détection. Le circuit d'appareil de chauffage réduit la variation de sortie due à la variation de température ambiante en fournissant un résultat proportionnel au taux d'écoulement de la masse. Ce circuit maintient la température de l'appareil de chauffage à une différence de la température constante au-dessus de la température ambiante (°C) 160, qui est mesuré par la résistance thermique sur la puce. La sortie du dispositif est proportionnelle à la tension d'alimentation et correspond également à la tension différentielle du montage en pont de Wheatstone.

Caractéristiques :