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S8552 Capteur à photodiode SI de surveillance UV ultraviolette sous vide
Caractéristiques
1Amélioration de la fiabilité des lasers excimères (ArF: 193 nm, KrF: 248 nm)
2. grande surface photosensible 10 x 10 mm
3Package sans fenêtre 16.5 x 15.0 mm
Applications
1Moniteur de vide
2Moniteur laser excimer
Courant sombre | 0.05-1.0nA |
Capacité de borne | 4.0 à 8.0 nF |
Temps de montée | 9 nous |