AGP4000 MEMS Affichage numérique de haute précision à cathode froide Vacuum Gauge composite Pirani Vacuum Gauge

Jauge à vide composite à cathode froide à affichage numérique de haute précision MEMS AGP4000, jauge à vide Pirani

Utilisations :

• Fabrication de semi-conducteurs : Elle est utilisée pour la surveillance précise de l'environnement sous vide dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que le revêtement de semi-conducteurs. Un contrôle précis du degré de vide est crucial pour la qualité et les performances des produits semi-conducteurs, et l'AGP4000 peut fournir des données de vide fiables pour assurer la stabilité du processus.
• Domaine aérospatial : Dans les tests de composants aérospatiaux et d'autres scénarios, il est nécessaire de simuler différents environnements sous vide pour tester les performances des composants. L'AGP4000 peut réaliser une surveillance complète, du vide faible au vide élevé, fournissant un support de données important pour la recherche et le développement et les tests aérospatiaux.
• Recherche scientifique de précision : Dans la recherche scientifique de précision, comme certaines expériences physiques et chimiques nécessitant un contrôle de l'environnement sous vide de haute précision, l'AGP4000 peut aider les chercheurs à obtenir avec précision des informations sur le degré de vide, garantissant ainsi la précision et la reproductibilité des résultats expérimentaux.
• Applications des fours à vide : Pour les fours à vide, différents degrés de vide sont requis à différentes étapes du processus. L'AGP4000 peut surveiller le degré de vide dans le four en temps réel et coopérer avec le système de contrôle pour ajuster le degré de vide, afin d'assurer la qualité du traitement thermique des matériaux et la durée de vie du four.

Caractéristiques :

• Mesure à large plage et de haute précision : Elle peut réaliser une surveillance précise sur toute la plage, du vide faible au vide élevé (1 × 10⁻⁶ Pa ~ 1 × 10⁵ Pa), couvrant une large plage de 6 ordres de grandeur, avec une erreur de répétabilité de ≤±5 % et une excellente stabilité à long terme, fournissant une base de données fiable pour les processus clés.
• Collaboration intelligente à double technologie : Le système Pirani fonctionne tout au long du processus, et lorsque le degré de vide est < 10 Pa, le système à cathode froide est automatiquement démarré sans intervention manuelle, ce qui résout complètement le problème de la limitation de la plage des équipements traditionnels.
• Solide et durable : La conception à cathode froide ne nécessite pas de filament chauffant, ce qui a une forte capacité anti-pollution, prolonge considérablement la durée de vie et réduit les coûts de maintenance.
• Visualisation en couleurs réelles : Il est équipé d'un écran couleur TFT-LCD haute définition, qui peut afficher dynamiquement la valeur de la pression en temps réel, et peut basculer entre trois unités (Pa/Torr/mbar) avec une seule touche, et afficher également la température, l'état de la communication et les marques de mise en marche/arrêt haute tension (avertissement bicolore rouge/bleu), de sorte que les données soient claires en un coup d'œil.
• Sortie double mode : Il dispose d'un signal analogique linéaire de 0 à 10 V, qui peut être directement connecté à des équipements industriels tels que des automates programmables et des enregistreurs, et prend en charge les formules de conversion logarithmique, ce qui facilite son adaptation au système. En même temps, il dispose d'un protocole Modbus RTU standard, qui réalise une communication RS485 via l'interface RJ45, prend en charge la mise en réseau multi-appareils et est compatible avec les principaux systèmes de contrôle industriel, ce qui permet de construire un réseau de surveillance du vide intelligent.
• Installation simple et fonctionnement fiable : Il est équipé en standard d'une bride électro-polie en acier inoxydable KF25, qui a une excellente étanchéité et prend en charge l'installation dans n'importe quelle direction (l'installation verticale est recommandée). Il dispose d'une alimentation large tension (15~30 V CC) et d'une consommation électrique de ≤6 W, ce qui peut s'adapter aux environnements industriels difficiles.
• Étalonnage intelligent et fonctionnement pratique : Il dispose d'une conception d'interface basée sur un menu à trois niveaux, prend en charge la commutation chinois et anglais, peut définir les paramètres de communication et les unités sur site, effectuer un étalonnage de 0,1 Pa/pression atmosphérique, et même restaurer les paramètres d'usine avec une seule touche, ce qui réduit considérablement le seuil d'exploitation et de maintenance.