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--Chambre de traitement en verre : ∮100mm ; 130mm haut.
--Taille d'étape de spécimen : ∮40mm (tasses de spécimen de prise
6)
--Taille d'or de cible :
∮58mm*0.12mm (épaisseur)
--Détection de vide : Mesure de Pirani
--Protection de vide : PA 20 avec la valve d'inflation de
micro-échelle
--Gaz moyen : L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz
d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle.
A50.7011 Ion Sputter Coater | |
Puits dépression | Diamètre 100mm*H130mm |
Étape de spécimen | Diamètre 40mm (tasses de spécimen de prise 6) |
Cible de pulvérisation d'or | Diamètre 58mm*0.12mm (épaisseur) |
Mesure de vide | Mesure de Pirani |
Pompe vide | Rotation Vane Pums : 2L/s |
Point de protection de vide | 20Pa avec la valve d'inflation de micro-échelle |
Gaz fonctionnant | L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle |
Tension de pulvérisation | 1.6KV |
Poids brut | 48kg |
Conformité | CE |