Microscope atomique de balayage plat de force

• La conception de tête de balayage de portique, la base de marbre, l'étape d'adsorption de vide, la dimension de l'échantillon et le poids sont fondamentalement illimités
• A62.4510 + scanner indépendant gyroscopique en circuit fermé de décalage de pression, qui peut balayer avec la haute précision dans un éventail
• Méthode de alimentation d'aiguille intelligente avec la détection automatique de la céramique piézoélectrique contrôlée par le moteur pour protéger des sondes et des échantillons
• Positionnement optique automatique, aucun besoin pour ajuster le foyer, observation en temps réel et positionnement du secteur de balayage d'échantillon de sonde
• Équipé du bouclier fermé en métal, table amortissante pneumatique, capacité anti-parasitage forte

          ◆Le premier microscope atomique commercial de force en Chine pour réaliser le balayage mobile combiné de la sonde et de l'échantillon ;

          ◆Le premier en Chine pour employer une table de balayage piézoélectrique de décalage de boucle fermée indépendante gyroscopique pour réaliser le balayage haute précision grande échelle ;

          ◆Le balayage indépendant gyroscopique, XYZ ne s'affecte pas, très approprié la détection tridimensionnelle de matériel et de topographie ;

          ◆Contrôle électrique de table mobile témoin et de table élévatrice, qui peut être programmé avec la position multipoint réaliser la détection automatique rapide ;

          ◆Conception de tête de balayage de portique, base de marbre, adsorption de vide et étape magnétique d'adsorption ;

          ◆Le moteur contrôle automatique la méthode de alimentation d'aiguille intelligente de la détection automatique en céramique piézoélectrique pour protéger la sonde et l'échantillon ;

          ◆Positionnement optique auxiliaire de microscope de rapport optique élevé, observation en temps réel et positionnement de la sonde et du secteur de balayage d'échantillon ;

          ◆L'étape de balayage piézoélectrique en circuit fermé n'exige pas la correction non linéaire, et l'exactitude de caractérisation et de mesure de nanomètre est meilleure que 99,5%.

• 	A62.4510	A62.4511
  Mode de travail	Mode de contact Mode de tapement [Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique	Mode de contact Mode de tapement [Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique
  Courbe actuelle de spectre	Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve	Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve
  Mode de balayage DE X/Y	Balayage conduit par sonde, Scanner piézo-électrique de tube	Balayage conduit par échantillon, étape piézoélectrique de balayage de décalage de boucle bloquée
  Chaîne DE X/Y de balayage	70×70um	Boucle bloquée 100×100um
  Résolution DE X/Y de balayage	0.2nm	Boucle bloquée 0.5nm
  Mode de balayage de Z		Balayage conduit par sonde
  Chaîne de balayage de Z	5um	5um
  Résolution de balayage de Z	0.05nm	0.05nm
  Vitesse de balayage	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
  Angle de balayage	0~360°	0~360°
  Poids témoin	≤15Kg	≤0.5Kg
  Taille d'étape	Dia.100mm [Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm	Dia.100mm [Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm
  Déplacement DE X/Y d'étape	100x100mm, résolution 1um [Facultatif] 200x200mm 300x300mm	100x100mm, résolution 1um [Facultatif] 200x200mm 300x300mm
  Déplacement de l'étape Z	15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm	15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm
  Conception amortissante	Suspension de ressort [Facultatif] Amortisseur actif	Suspension de ressort [Facultatif] Amortisseur actif
  Système optique	5x objectif 5.0M Digital Camera [Facultatif] 10x objectif 20x objectif	5x objectif 5.0M Digital Camera [Facultatif] 10x objectif 20x objectif
  Sortie	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Logiciel	Victoire XP/7/8/10	Victoire XP/7/8/10
  Principal organisme	Tête de balayage de portique, base de marbre	Tête de balayage de portique, base de marbre

• Microscope	Microscope optique	Microscope électronique	Microscope de balayage de sonde
  Max Resolution (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Remarque	1500x immersion dans l'huile	Atomes de carbone de diamant de représentation	Atomes de carbone graphitiques d'ordre élevé de représentation

• Interaction de Sonde-échantillon	Signal de mesure	L'information
  Force	Force électrostatique	Forme
  Courant de tunnel	Actuel	Forme, conductivité
  Force magnétique	Phase	Structure magnétique
  Force électrostatique	Phase	distribution de charge

• 	Résolution	Condition de travail	Temperation fonctionnant	Damge prélever	Profondeur d'inspection
  SPM	Atom Level 0.1nm	Normal, liquide, vide	Pièce ou bas Temperation	Aucun	1~2 Atom Level
  TEM	Point 0.3~0.5nm Trellis 0.1~0.2nm	Vide poussé	Pièce Temperation	Petit	Habituellement <100nm>
  SEM	6-10nm	Vide poussé	Pièce Temperation	Petit	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Atom Level 0.1nm	Vide poussé superbe	30~80K	Damge	Atom Thickness

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