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Spécification | A63.7140 | A63.7160 | |
Paramètres clés | Résolution | 0,9 nm 30 kV (SE) 1,4 nm 15 kV (SE) | 0,9 nm 30 kV (SE) 1,2 nm 15 kV (SE) 1,5 nm 1 kV (mode SE, BD)) |
Tension d'accélération | 0,02 kV~30 kV | 0,02 kV~30 kV | |
Grossissement | 1~2000000x | 1~2000000x | |
Canon électrons | Canon émission de champ thermique Schottky | Canon émission de champ thermique Schottky | |
Courant de sonde | 1pA~40nA | 1pA~40nA | |
Champ de vision | 6 mm | 6 mm | |
Temps de séjour | 20ns | 20ns | |
Déviation du faisceau | -- | Système de déviation double faisceau : Système de déviation de faisceau hybride électromagnétique et statique | |
Objectif | Système double objectif : Objectif magnétique et objectif électrostatique, échantillon magnétique adaptable | Système double objectif : Objectif magnétique et objectif électrostatique, échantillon magnétique adaptable | |
Ouverture du canon | (10μm, 30μm, 70μm, 100μm, 150μm, 220μm)*2 ensembles (1 pour la sauvegarde), déplacement motorisé | (10μm, 30μm, 70μm, 100μm, 150μm, 220μm)*2 ensembles (1 pour la sauvegarde), déplacement motorisé | |
Chambre | Taille de la chambre | Largeur 370 mm, hauteur 330 mm, profondeur 344 mm | Largeur 370 mm, hauteur 330 mm, profondeur 344 mm |
Port d'extension | 10 ports | 10 ports | |
Système de vide | 2 pompes ions 1 Pompe Moléculaire Turbo 1 Pompe mécanique sans huile | 2 pompes ions 1 Pompe Moléculaire Turbo 1 Pompe mécanique sans huile | |
Aspiration du pistolet : 2x10-7Pa Vide de la chambre : 6x10-4Pa | Aspiration du pistolet : 2x10-7Pa Vide de la chambre : 6x10-4Pa | ||
Scène | Platine automatique 5 axes, X : 130 mm, Y : 130 mm, Z : 60 mm, R : 360 °, T : -10 °~70°, charge maximale >500g | Platine automatique 5 axes, X : 130 mm, Y : 130 mm, Z : 60 mm, R : 360 °, T : -10 °~70°, charge maximale >500g | |
Caméra | CCD de navigation optique couleur CCD IR haute définition | CCD de navigation optique couleur CCD IR haute définition | |
Détecteurs et extensions | Standard | Détecteur SE | Détecteur SE Détecteur Inlens SE |
PC et logiciels | Ordinateur | Poste de travail, mémoire 16 Go, disque dur 512 Go, écran 24", système Win10 | Poste de travail, mémoire 16 Go, disque dur 512 Go, écran 24", système Win10 |
Contrôle | Panneau de contrôle et joystick | Panneau de contrôle et joystick | |
Logiciel | Mise au point automatique, stigmatisation automatique, contraste de luminosité automatique, format d'image TIFF, JPG, PNG, BMP, résolution de sortie d'image max. 16k*16k | Mise au point automatique, stigmatisation automatique, contraste de luminosité automatique, format d'image TIFF, JPG, PNG, BMP, résolution de sortie d'image max. 16k*16k | |
Accessoires optionnels | A50.7101 | ESB | ESB |
A50.7102 | - | InLens BSE | |
A50.7103 | Spectroscopie dispersive en énergie (EDS/EDX) | Spectroscopie dispersive en énergie (EDS/EDX) | |
A50.7104 | Diagramme de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) | Diagramme de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) | |
A50.7105 | EDS+EBSD | EDS+EBSD | |
A50.7106 | Transmission électronique par balayage (STEM) | Transmission électronique par balayage (STEM) | |
A50.7107 | Courant induit par faisceau d'électrons (EBIC) | Courant induit par faisceau d'électrons (EBIC) | |
A50.7108 | Cathodoluminescence (CL) | Cathodoluminescence (CL) | |
A50.7109 | Plasma | Plasma | |
A50.7110 | Sas air, entrepôt d'échange d'échantillons | Sas air, entrepôt d'échange d'échantillons | |
A50.7111 | Obturateur de faisceau | Obturateur de faisceau | |
A50.7120 | Logiciel de couture de grandes images | Logiciel de couture de grandes images | |
A50.7121 | Logiciel d'analyse de particules | Logiciel d'analyse de particules | |
A50.7112 | Support de transfert sous vide | Support de transfert sous vide | |
A50.7113 | Système corrélatif Raman-SEM | Système corrélatif Raman-SEM | |
A50.7115 | UPS | UPS | |
A50.7114 | - | Colonne de filtration d'énergie encastrée ExB |
▶Forte compatibilité, grande adaptabilité Peut être installé sur différents terminaux, tels que des ordinateurs, des téléphones portables et des tablettes, pour contrôler le microscope électronique ; Ce système d'exploitation de microscope électronique SEM-OS est compatible avec les SEM de divers fabricants et est compatible avec plusieurs modèles, élargissant ainsi l'écosystème SEM ▶Logiciel et informatique intégrés, simples et efficaces Interface utilisateur unifiée, pas besoin de s'adapter plusieurs reprises différents terminaux ; Équipé d'algorithmes d'IA pour collecter des informations et présenter des effets de sortie en temps réel avec une qualité d'image plus claire et des détails plus importants ; Le SEM piloté par le noyau accélère le contrôle du matériel |
① Barre de menu, ② Zone d'opération rapide, ③ Barre de données, ④ Zone de surveillance, ⑤ Zone de navigation, ⑥ Zone complète, ⑦ Zone d'opération, ⑧ Zone d'état |
Le microscope électronique balayage de la série A63.7140/A63.7160 est équipé de tiges de transfert sous vide IGS, de spectromètres d'énergie EDS, de spectroscopie Raman et d'autres accessoires, offrant une solution complète pour la recherche sur les batteries au lithium, de la préparation des échantillons, l'observation de la morphologie, l'analyse de la composition et l'analyse structurelle. |
Étape 1:La tige de transfert est chargée sur la boîte gants pour terminer le transfert de l'échantillon de la boîte gants vers le compartiment de la tige de transfert. Étape 2:Le processus de transfert d’échantillon implique le transfert de la pression positive l’intérieur de la chambre de la tige pendant le processus de transfert. Étape 3:La tige de transfert est chargée sur le microscope électronique pour transférer l'échantillon de la chambre de la tige de transfert la chambre principale du microscope électronique. Étape 4:Prise de vue d'échantillons et post-traitement des données, développement personnalisé selon les besoins des utilisateurs. ▶Spectromètre SEM+ EDS + Tige de transfert sous vide + Spectroscopie Raman + Logiciel d'analyse Analyse structurelle | Analyse des mécanismes | Table de déplacement de haute précision ▪ Compensez l'analyse de la structure moléculaire que la technologie EDS ne peut pas réaliser et appréhendez de manière exhaustive la composition de l'échantillon ▪ Réalisez une commutation rapide entre l'axe optique Raman et l'axe optique du faisceau d'électrons, une analyse multidimensionnelle des caractéristiques de l'échantillon et un suivi en temps réel. L'évolution structurelle des matériaux au cours des processus de charge et de décharge, et l'étude approfondie de leurs mécanismes d'assistance ▪ Table de déplacement en céramique piézoélectrique haute précision grande course et haute vitesse, permettant une acquisition de données intégrée la même position, répondant l'analyse de stabilité de la surface Raman confocale long terme |