Machine carrée monocristalline au silicium à double station 6/8/12 pouces à fente ≤ 0,5 mm haute précision ± 0,05 mm
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Chambre 1-1805, no.1079 rue Dianshanhu, région de Qingpu, ville de Shanghai, Chine /201799
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Résumé
Machine carrée monocristalline au silicium double station 6/8/12 pouces fente ≤ 0,5 mm haute précision ± 0,05 mm
Dans le domaine du traitement des matériaux semi-conducteurs, monocrystalline silicon two-root vertical open-mechanism island building is a highly specialized integrated production unit dedicated to precisely cutting cylindrical monocrystalline silicon rods (Ingot) into square or rectangular silicon blocks (Grit or Brick) in preparation for subsequent slicing (such as making silicon wafers)L'équipement de base est une machine de découpe verticale deux racines, et l'"îlot de fabrication" fait référence au système de traitement automatique et intelligent construit autour de l'équipement.
Fonction de base
· Objets de traitement: tiges de silicium monocristallin (généralement de 6 12 pouces, longueur de 1 2 mètres).
· tche principale:Coupe verticale des quatre côtés d'une tige de silicium cylindrique avec une lame de double scie pour former un bloc de silicium carré/rectangulaire de haute précision (en conservant le noyau et en réduisant les déchets de matériaux).
· Indicateurs clés: précision de coupe (±0,05 mm), planéité de surface (Ra≤0,5 μm), contrôle de la rupture des bords (≤50 μm).
Spécifications techniques
Paramètres techniques
| Nom du paramètre | Valeur de l'indice |
| Nombre de barres traitées | 2 pièces par jeu |
| Plage de longueur des barres de traitement | 100 950 mm |
| Plage de marge d'usinage | 166 233 mm |
| Vitesse de coupe | ≥ 40 mm/min |
| Vitesse du fil diamanté | 0 35 m/s |
| Diamètre du diamant | 0.30 mm ou moins |
| Consommation linéaire | 00,06 m/mm ou moins |
| Diamètre de la tige ronde compatible | Le diamètre de la tige carrée finie est de +2 mm. |
| Contrôle de rupture de pointe | Marge brute ≤0,5 mm, sans éclaboussures, haute qualité de surface |
| Uniformité de la longueur de l'arc | Plage de projection < 1,5 mm, l'exception de la distorsion de la tige de silicium |
| Dimensions de la machine (machine unique) | 4800 × 3020 × 3660 mm |
| Puissance nominale totale | 56 kW |
| Poids mort de l'équipement | 12 tonnes |
Tableau d'indice de précision d'usinage
| Point de précision | Plage de tolérance |
| Tolérance de marge de barre carrée | ± 0,15 mm |
| Plage de bord de barre carrée | ≤ 0,20 mm |
| Angle sur tous les côtés de la tige carrée | 90° ± 0,05° |
| Plateur de la tige carrée | ≤ 0,15 mm |
| Précision de positionnement répété du robot | ± 0,05 mm |
Avantage de conception
Performance stable:
1. coupe verticale, dispositif d'autopositionnement des tiges en
silicium;
2. tête de coupe roue de coupe axe boîte trou de traitement
intégré, haute précision, propice la coupe;
3- alimentation et positionnement du robot, performances fiables et
stables, faible coût de maintenance;
Capacité de 4 tonnes (barre carrée):
1Vitesse de coupe élevée: ≥ 40 mm/min.
2. Couper deux tiges de silicium simultanément;
3Temps de chargement et de déchargement ≤ 3 min.
Faible coût:
1Un robot peut être configuré avec 2 hôtes, qui peuvent être formés
en une unité d'îlot de fabrication rectangulaire, avec une
configuration flexible et un faible coût d'une seule machine;
2L'automatisation des ateliers peut utiliser une structure de
transport par voie terrestre, un faible coût d'automatisation.
Haute précision:
1. la portée de la racine ≤ 0,2 mm;
2La précision de chargement et de déchargement du robot est élevée,
la précision de positionnement répétée de ± 0,05 mm.
Avantage technologique et tendance de développement
Les avantages techniques:
Utilisation élevée des matériaux: en optimisant le chemin de coupe,
le taux de rétention des blocs de silicium peut atteindre plus de
85% (les méthodes traditionnelles ne sont que de 70% 75%).
Traitement faible dégradation: la technologie de scie au fil de diamant réduit les fissures microscopiques et améliore le rendement des tranches ultérieures.
Production intelligente: prise en charge de l'exploitation sans pilote, seulement 1 2 personnes par poste de surveillance.
Tendance l'évolution
Technologie de coupe en plusieurs lignes: coupe avec plusieurs
lignes de diamants en même temps pour améliorer l'efficacité.
Jumeau numérique: Optimiser les paramètres de coupe grce une simulation virtuelle.
Fabrication verte: technologie de recyclage de la poudre de silicium.
Questions et réponses
1. Q: Quelle est une île de machine de quadrature verticale jumelle
pour le silicium monocristallin?
R: Il s'agit d'un système automatisé qui coupe des lingots de
silicium monocristallin cylindrique en blocs carrés/rectangulaires
(briques) l'aide de deux fuseaux verticaux avec des scies fil de
diamant.haute précision (±0.15 mm), le traitement double lingot (2
tiges la fois) et le chargement robotique pour la production de
plaquettes solaires / semi-conducteurs.
2Q: Comment une machine quadrature verticale jumelle
améliore-t-elle l'efficacité du traitement du silicium?
R: Il double la production en coupant 2 lingots simultanément (40
mm/min de vitesse), réduit les déchets de matériaux (≤ 0,06 m/mm de
fil utilisé) et assure une grande précision (± 0,05° de tolérance
d'angle).Idéal pour les usines photovoltaïques/semiconducteurs qui
ont besoin d'une production rapide, le carré faible coût.
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lingot, #Two position machine carré
Machine carrée monocristalline au silicium à double station 6/8/12 pouces à fente ≤ 0,5 mm haute précision ± 0,05 mm
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