Plaquette de verre en cristal de quartz de 150 mm de diamètre (6 pouces) de pureté 5N SiO₂
Numéro de modèle:Une gaufre de quartz de 6 pouces
Lieu d'origine:Chine
Quantité minimale de commande:10
Conditions de paiement:T/T
Capacité d'approvisionnement:1000 pièces par mois
Délai de livraison:5-8weeks
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Chambre 1-1805, no.1079 rue Dianshanhu, région de Qingpu, ville de Shanghai, Chine /201799
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Pourquoi choisir des plaquettes de quartz de 6 pouces ?
Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont des substrats de haute précision et ultra-purs, largement utilisés dans les semi-conducteurs, l'optique et les MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques). Leurs propriétés clés - notamment une pureté exceptionnelle, une dilatation thermique ultra-faible, une résistance la traction élevée, une transmittance optique supérieure et des caractéristiques électriques uniques - les rendent indispensables pour la fabrication de précision et les dispositifs haute performance.
Aperçude la plaquette de quartz de 6 pouces
Plaquette de verre en cristal de quartz de 6 pouces de diamètre 150 mm, pureté 5N SiO₂
ZMSH est spécialisé dans la fabrication de plaquettes de quartz de 6 pouces, offrant :
Personnalisation multi-tailles : plaquettes standard de 6 pouces, ainsi que des variantes de 4", 8" et 12"
Traitement des bords : options pour les bords biseautés, les encoches et les méplats d'orientation
Traitements de surface : services personnalisés de polissage, de revêtement et de structuration
Paramètre pour la plaquette de quartz de 6pouces
| Paramètre | Spécification |
| Diamètre | 6 pouces (150 mm) |
| Plage d'épaisseur | 0,5 mm ~ 3,0 mm |
| Tolérance d'épaisseur | ±0,02 mm |
| Variation totale d'épaisseur | ≤10μm |
| Rugosité de surface (polie) | ≤0,5 nm Ra |
| Parallélisme | ≤3μm |
| CTE (20-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C |
| Transmittance @193nm | >92% |
| Résistivité | >10¹⁶ Ω·cm |
| Compatibilité sous vide | 10⁻¹⁰ Torr |
| Résistance la flexion (renforcée) | 500-700MPa |
Propriétés clés de la plaquette de quartz de 6pouces
| Caractéristique | Spécification technique |
| Haute pureté | ≥99,999% de teneur en SiO₂ |
| CTE (20-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C (dilatation thermique ultra-faible) |
| Résistance la traction | 50-70 MPa (options renforcées chimiquement disponibles) |
| Transmittance optique | >92% @190-3500nm (spectre UV NIR) |
| Propriétés électriques | Résistivité >10¹⁶ Ω·cm, coefficients piézoélectriques |
Applications stratégiques de la plaquette de quartz de 6pouces
1. Fabrication de semi-conducteurs
Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont largement utilisées dans l'encapsulation des semi-conducteurs, la fabrication de puces, et les domaines connexes, en particulier dans la production de :
- Puces mémoire(DRAM, NAND Flash)
- Dispositifs analogiques/de puissance(IGBT, MOSFET)
- Capteurs avancés(MEMS, capteurs d'image CMOS)
2. Composants optiques
En raison de leur haute transmittance optique et de leur CTE ultra-faible, les plaquettes de quartz sont idéales pour :
- Lentilles de précision(asphériques, réseaux de microlentilles)
- Filtres optiques(passe-bande, dichroïque)
- Guides d'ondes(CI photoniques, éléments de couplage de fibres)
3. MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques)
Les plaquettes de quartz servent de substrats de qualité supérieure pour les dispositifs MEMS en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur robustesse mécanique, notamment :
- Microsenseurs(pression, inertiels, biocapteurs)
- Micro-actionneurs(commutateurs RF, transducteurs piézoélectriques)
- Résonateurs(filtres 5G, dispositifs de synchronisation)
4. Écrans TFT-LCD en poly-Si haute température
Les plaquettes de quartz sont essentielles la fabrication d'écrans haute performance, en particulier :
- Fonds de panier HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT
- Micro-écrans(AR/VR, LCoS)
- Panneaux LCD avancés(substrats d'encapsulation OLED)
Services de fabrication personnalisés de plaquettes de quartz de 6pouces
Nous fournissons des solutions de bout en bout :
1. Sélection des matériaux : quartz JGS1/JGS2, silice fondue synthétique
2. Usinage de précision :
- Découpe laser (±5μm de tolérance)
- Perçage par ultrasons (rapport d'aspect 10:1)
3. Ingénierie de surface :
- Nano-polissage (Ra<0,3 nm)
- Revêtements antireflet DUV/IR
4. Assurance qualité :
- Traitement en salle blanche de classe 10
- Rapports de métrologie complets (TTV, gauchissement, courbure)
FAQ de la plaquette de quartz de 6pouces
1. Q : Quels sont les avantages des plaquettes de quartz de 6 pouces par rapport aux tailles plus petites dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Les plaquettes de quartz de 6 pouces (150 mm) offrent 56 % de surface utilisable en plus que les plaquettes de 4 pouces, ce qui réduit considérablement les pertes d'exclusion des bords et améliore le débit pour l'encapsulation avancée et la production de MEMS.
2. Q : Comment la pureté des plaquettes de quartz (≥99,999 %) impacte-t-elle les processus haute température ?
R : Le quartz de pureté 5N minimise les risques de contamination dans les processus de recuit HTPS TFT et de semi-conducteurs au-dessus de 1000°C, garantissant des propriétés diélectriques constantes.
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Plaquette de verre en cristal de quartz de 150 mm de diamètre (6 pouces) de pureté 5N SiO₂
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