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La gaufre de quartz de 6 pouces (150 mm de diamètre) est fabriquée partir de verre de quartz de haute pureté (pureté ≥ 99,999%) d'une épaisseur allant de 50 500 μm. La rugosité de la surface est contrôlée jusqu' Ra ≤ 0,5 nm par CMP (polissage mécanique chimique). Le processus de fabrication comprend: Je suis désolée.
· Purification des matières premières:Extraction de silicium de qualité électronique partir de sable de quartz par procédés de chloration et de réduction, atteignant une pureté de 99,9999%. Je suis désolée.
· Croissance cristal unique:Cultiver des tiges de silicium monocristalline selon la méthode de Czochralski (CZ), avec une densité de défaut < 1 défaut/cm2. Je suis désolée.
· Coupe et transformation:Coupe de tiges de silicium en plaquettes de 150 mm par scie plusieurs fils, suivie d'un polissage double face et d'une gravure au laser pour assurer une tolérance d'épaisseur ≤ ± 15 μm.
PAramètre | Spécification |
Diamètre | 6 pouces (150 mm) |
Plage d'épaisseur | 0.5 mm 3.0 mm |
Tolérance l'épaisseur | ± 0,02 mm |
Variation de l'épaisseur totale | ≤ 10 μm |
Roughness de surface (polie) | ≤ 0,5 nm Ra |
Le parallélisme | ≤ 3 μm |
TEC (20 300 °C) | 00,55 × 10−6/°C |
Transmittance @193 nm | > 92% |
Résistance | > 1016 Ω·cm |
Compatibilité sous vide | 10−10 Torr |
Résistance la flexion (renforcée) | 500 700 MPa |
La gaufre de quartz de 6 pouces est un film mince circulaire en matière de quartz de haute pureté, largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, l'optoélectronique et l'optique de précision.
· Haute pureté et résistance thermique:La pureté du verre au quartz ≥ 99,999%, point de ramollissement ~ 1730°C, tolérance court terme jusqu' 1450°C.
Je suis désolée.· Faible expansion thermique:Coefficient de dilatation thermique 0,5 × 10−6/°C (25-300°C), capable de résister un choc thermique (ΔT ≥ 800°C).
· Stabilité chimique:Résistant la corrosion par tous les acides sauf l'acide fluorhydrique, avec une résistance la corrosion 30 fois supérieure celle de la céramique et 150 fois supérieure celle de l'acier inoxydable.
· Performance optique:Haute transmittance dans le spectre ultraviolet proche infrarouge (lumière visible > 93%, proche infrarouge > 95%).
Je suis désolée.· Résistance mécanique:Dureté de Mohs de 7, résistance la compression supérieure au verre standard.
1. Fabrication de semi-conducteurs: utilisés dans les diodes, les transistors et les MOSFET, pour l'électronique automobile et les semi-conducteurs de puissance.
Optoélectronique: sert de substrat pour les fibres optiques, les dispositifs laser et les guides d'ondes dans les réseaux et les centres de données 5G.
3Optique de précision: appliquée dans les systèmes d'imagerie infrarouge, les optiques laser et les lentilles haute transmission.
4. Capteurs et instruments: composants essentiels des capteurs MEMS et des équipements de diagnostic médical.
5Aérospatiale: fenêtres optiques haute température et composants résistants la chaleur pour les engins spatiaux.
Les tubes de quartz sont des tubes de verre de quartz de haute pureté fabriqués en structures tubulaires, largement utilisés dans les procédés de diffusion/oxydation des semi-conducteurs et les équipements photovoltaïques.
· Traitement sur mesure: diamètres intérieurs (5-50 mm), longueurs (100-1000 mm) et épaisseurs de paroi (0,5-3 mm).
· Avantages techniques: fonctionne 1100°C long terme, faible teneur en hydroxyles (< 1 ppm) et haute résistance la contamination, répondant aux exigences de propreté des semi-conducteurs.
1Q: Quelles sont les principales applications des plaquettes de quartz de 6 pouces? Je suis désolée.
R: Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont largement utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs (par exemple, diodes, MOSFET), optoélectronique (fibre optique, lasers),et des capteurs de précision en raison de leur haute stabilité thermique et de leur transparence optique..
2Q: Quels sont les défis dans la production de plaquettes de quartz de 6 pouces? Je suis désolée.
R: Les principaux défis comprennent le maintien d'une pureté ultra-haute (> 99,999% SiO2), la minimisation des défauts lors de la croissance du cristal et l'assurance de l'uniformité des processus de découpe / polissage.
Les étiquettes: # 6 pouces de substrat de quartz, # personnalisé, # plaques de silice fusionnées, # SiO2 cristal, # plaquettes de quartz, # JGS1/JGS2 Grade, # haute pureté, # composants optiques de silice fusionnée, # plaque de verre de quartz,Le diamètre est de 150 mm., Wafer de verre cristal de quartz, SiO2 de pureté 5N, résistant la chaleur, transparent, substrat de cristal de quartz monocristallin, appareils de scie