Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de C.C, système planaire déséquilibré de revêtement de pulvérisation

Numéro de type:RTSP1200
Point d'origine:Fabriqué en Chine
Quantité d'ordre minimum:1 jeu
Conditions de paiement:L/C, T/T
Capacité d'approvisionnement:6 ensembles par mois
Délai de livraison:12 semaines
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Adresse: ZONE INDUSTRIELLE DE LA ROUTE DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINE 201613
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Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de C.C/système de pulvérisation de C.C


Modèles de pulvérisation magnétron : pulvérisation c.c., pulvérisation MF, pulvérisation RF


Qu'est-ce que la pulvérisation c.c. ?


La pulvérisation CC est principalement utilisée pour pulvériser des cibles métalliques pures telles que : chrome, titane, aluminium, cuivre, acier inoxydable, nickel, argent, or pour les films haute conductivité.


La pulvérisation CC est une technique de revêtement par dépôt physique en phase vapeur (PVD) couche mince dans laquelle un matériau cible utiliser comme revêtement est bombardé de molécules de gaz ionisé provoquant la « pulvérisation » des atomes dans le plasma.Ces atomes vaporisés se déposent ensuite lorsqu'ils se condensent en un film mince sur le substrat revêtir.


La pulvérisation CC est le type de pulvérisation le plus basique et le moins coûteux pour le dépôt de métal PVD et les matériaux de revêtement cibles électriquement conducteurs.Deux avantages majeurs du courant continu en tant que source d'alimentation pour ce processus sont qu'il est facile contrôler et qu'il s'agit d'une option peu coûteuse si vous effectuez un dépôt de métal pour le revêtement.

La pulvérisation CC est largement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs pour créer des circuits de micropuces au niveau moléculaire.Il est utilisé pour les revêtements de pulvérisation d'or de bijoux, de montres et d'autres finitions décoratives, pour les revêtements non réfléchissants sur le verre et les composants optiques, ainsi que pour les plastiques d'emballage métallisés, les rétroviseurs de voiture, les réflecteurs d'éclairage de voiture, les roues et les moyeux de voiture, etc.


Machine de revêtement par pulvérisation magnétron DCPerformance

1. Pression de vide ultime : meilleure que 5,0 × 10-6Torr.

2. Pression de vide de fonctionnement : 1,0 × 10-4Torr.

3. Temps de pompage : de 1 atm 1,0×10-4Torr≤ 3 minutes (température ambiante, chambre sèche, propre et vide)

4. Matériau de métallisation (pulvérisation + évaporation l'arc) : Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, etc.

5. Modèle de fonctionnement : Entièrement automatique/semi-automatique/manuellement


Structure de la machine de revêtement par pulvérisation magnétron DC

La machine de revêtement sous vide contient le système clé complet répertorié ci-dessous :

1. Chambre vide

2. Système de pompage vide Rouhging (ensemble de pompe de soutien)

3. Système de pompage vide poussé (pompe moléculaire suspension magnétique)

4. Système de contrôle et d'exploitation électrique

5. Système d'installation auxiliaire (sous-système)

6. Système de dépôt : cathode de pulvérisation c.c., alimentation c.c., source d'ions d'alimentation de polarisation en option


Machine de revêtement par pulvérisation magnétron DCCaractéristiques

RTSP1250-DC
MAQUETTERTSP1250-DC
LA TECHNOLOGIEPulvérisation magnétron (DC) + placage ionique
MATÉRIELAcier inoxydable (S304)
TAILLE DE LA CHAMBREΦ1250*H1250mm
TYPE DE CHAMBRECylindre, vertical, 1 porte
SYSTÈME DE PULVÉRISATIONConception exclusive pour le dépôt d'un film noir fin
MATÉRIEL DE DÉPÔTAluminium, argent, cuivre, chrome, acier inoxydable, nickel, titane
SOURCE DE DÉPÔTCibles de pulvérisation cathodiques/planaires + 7 sources d'arc cathodique dirigées
GAZMFC- 4 voies, Ar, N2, O2, C2H2
CONTRÔLERPLC (contrôleur logique programmable) +
Écran tactile
SYSTÈME DE POMPESV300B - 1 jeu (Leybold)
WAU1001 - 1 jeux (Leybold)
D60T-2 ensembles (Leybold)
Pompes Turbo Moléculaires : 2* F-400/3500
PRÉ-TRAITEMENTAlimentation de polarisation : 1*36 KW
SYSTÈME DE SÉCURITÉNombreux verrouillages de sécurité pour protéger les opérateurs
et l'équipement
REFROIDISSEMENTEau froide
PUISSANCE ÉLECTRIQUE480V/3 phases/60HZ (conforme aux États-Unis)
460V/3 phases/50HZ (conforme l'Asie)
380V/3 phases/50HZ (conforme EU-CE)
EMPREINTEL3000*W3000*H2000mm
POIDS TOTAL7.0T
EMPREINTE(L*W*H) 5000*4000 *4000 MM
TEMPS D'UN CYCLE30 ~ 40 minutes (selon le matériau du substrat,
géométrie du substrat et conditions environnementales)
PUISSANCE MAX..155KW
CONSOMMATION ÉLECTRIQUE MOYENNE (ENVIRON)75KW

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