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Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire/procédé de protection portatif de pulvérisation de la couche mince
La technologie royale a conçu et divers fourni des procédés de protection d'Ultra-Haut-vide pour l'enseignement d'université et la recherche et développement scientifique, pour étudier la diverse croissance de film différente, produit de plus les couches minces NANOES innovatrices est appliqué avec nos industries commerciales. Nos clients aiment : Université de Changhaï de la Chine, université de Machanster du R-U, pile combustible scientifique d'université de Pékin, de semi-conducteur, de pile solaire, organismes scientifiques recherche aérospatiale et service de physique des hautes énergies etc.
Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire : C.C, MF, cathodes de pulvérisation de rf pour le but de R&D peut obtenir la couche unitaire, le film diélectrique, le film composé, le semi-conducteur, les couches multiples, le film composé, et les films diélectriques etc.
Représentation technique de machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire :
1 pression finale de vide : meilleur que les torr 5.0×10-6.
2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.
3. Temps de Pumpingdown : de 1 atmosphère 1.0×10-4 Torr≤ 3 chambres de minutes (température ambiante, sec, propre et vide)
4. Métallisant Al de matériel (pulvérisation), le Cr, le Sn, le Ti, les solides solubles, le Cu… etc.
5. Modèle fonctionnant : Complètement automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
Structure de machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire
1. Puits dépression
2. Système de pompage de vide de Rouhging (paquet de pompe de support)
3. Système de pompage de vide poussé (pompe de diffusion)
4. Système de commande électrique et d'opération
5. Système d'installation d'Auxiliarry (sous-système)
6. Système de dépôt
Le procédé de protection de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire peut également combiner avec des sources de cathod et d'évaporation d'arc pour plus d'application d'études. Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions de revêtement totales.