Vide de cloche en verre métallisant le CE inductif de machine de dépôt du système C60

                                           Machine de revêtement inductive d'évaporation

Résumé :

Le chauffage par induction est très utilisé dans différents champs dus la productivité et l'universalité de processus élevées, propreté et possibilité de pleine automation. En tant qu'une méthode de technologie thermique d'évaporation de PVD, le processus est amical pour l'environnement. Puisque l'induction laisse atteindre la température de 2000℃ et de plus, cette méthode est très appropriée la production industrielle et scientifique recherche.

La machine de revêtement d'évaporation de l'induction RTEP0404 est conçue pour le dépôt C60 de évaporation varie dessus des matériaux. C60 fabrique fournit la R&D et les résultats d'essai pour éventuel. Un outil fort les aidant pour augmenter de nouvelles industries appliquées.

Applications principales :

Pour déposer des couches et des revêtements de la couche mince dessus

• Semi-conducteurs
• Verre
• Polymères
• L'électronique
• Optique
• D'autres produits industriels comprenant les films d'emballage alimentaire, les bandes etc. en métal.

Type :

Orientation verticale, modèle de cloche en verre, ouverture supérieure

Caractéristiques de conception :

• Pression finale ultra-haute de vide : jusqu' la PA 9.0*10-5 ;
• Rapide réchauffant des dispositifs pour une bonne adhérence ;
• Procédé de protection robuste, compact et solide ;
• Exclusivement conception de source d'évaporation de chauffage par induction pour le dépôt C60 ;
• La puissance du vaporisateur d'induction : Devise de rf

Spécifications techniques :

• Représentation

1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 9.0*10-5 ;

• Pression fonctionnante de vide : 6.0*10-4 PA de la PA ~9.0*10-4 ;

Pression basse de vide : PA 3.0*10-4

3. Temps d'arrêt de pompage : de 1 atmosphère aux minutes de 2.0×10-3 Pa≤25 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)

4. Source de dépôt : vaporisateur d'induction, creuset

5. Modèle fonctionnant : Manuellement

6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 1000℃,

7. Puissance d'évaporation :  Radiofréquence de rf et alimentation d'énergie

8. Gaz fonctionnant : L'AR 

• Structure

La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :

1. Puits dépression

1,1 taille : Diamètre intérieur 400mm

     Taille intérieure : 400mm

1,2 matériel : Puits dépression SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du chssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

1,3 bouclier d'évaporation : SUS304

1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre

1,5 clapet de mise l'air libre de puits dépression (silencieux y compris)

2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe de palette rotatoire d'huile deux étages

3. Système de pompage de vide poussé : Pompe moléculaire de Turbo

4. Unité électrique d'opération du système de commande et d'opération HMI

4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série

4,2 puissance d'évaporation

4,3 système de contrôle d'évaporation

4,4 système d'opération : PLC

4,5 système de mesure

Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure

4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération

4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge

5. système de dépôt

5,1 source de dépôt : vaporisateur de courant ascendant d'induction

5,2 matériel de dépôt : C60

6. Sous-système

6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

6,3 gaz fonctionnant : L'AR (>99.99%)

7. Environnement de travail

Air comprimé : 5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, puissance moyen : 3kVA

Région d'installation : (L*W*H) 2000*200*2000mm

         Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

Automatiquement tirant l'unité d'Up-Down pour s'ouvrir/étroit la chambre

Système d'armoire électrique :

Astuces de sécurité :

Protection de Shileding contre le rayonnement de rf

Nous avons été essayons de concevoir et développer le procédé de protection le plus approprié qui rencontre notre qualité élevée d'efficacité et de revêtement de production de client demande.

Si le procédé de protection adapté aux besoins du client est exigé par votre société, partagez svp vos pensées, idées avec notre équipe et soumettez vos caractéristiques de produits, nous travaillera ensemble pour trier les meilleures solutions.

Shanghai Royal Technology Inc. a été créée en 2006, un fournisseur mondial d'équipements de vide de haute qualité avec des sites clés dans le monde entier.La technologie de recherche et développement est soutenue par des ingénieurs spécialisés aux États-Unis et en Chine.Les installations de fabrication de machines de haute technologie sont situées Shanghai et notre réseau mondial de centres de service assure une réponse rapide au service la clientèle dans les principaux endroits.

Shanghai Royal Technology a une forte volonté de conception innovante et de sélection de composants de haute qualité,combiné un processus d'assemblage très minutieux et une équipe de techniciens et d'inventeurs talentueux., qui nous permettent d'offrir des solutions de revêtement clés en main avec des équipements sous vide de haut niveau, répondant et dépassant souvent les normes occidentales.Nous sommes déterminés servir le marché mondial dans diverses industries telles que:

L'électronique grand public, l'automobile, les énergies renouvelables, l'architecture, les nanomatériaux et les matériaux biomédicaux.

Modèle RTAS, l'équipement de série intégré arc et pulvérisation peut produire des films noirs et bronzes très réfléchissants spécialement pour les revêtements décoratifs de haute qualité.

RTSP1200-FCEV, Il s'agit d'un système de pulvérisation avec procédé PECVD pour déposer un film mince sur les modules d'alimentation pile combustible hydrogène.Les véhicules pile combustible sont la dernière technologie pour la prochaine génération de voitures écologiquesLe principal avantage et le progrès technologique par rapport aux batteries couramment utilisées comme les piles sèches nécessitent un processus de recharge récurrent.mais les modules d'alimentation pile hydrogène ne nécessitent que la réaction hydrogène et oxygène pour générer de l'énergie pour la conduite.

RTSP1200-DPC,Ce système de revêtement est utilisé exclusivement pour le processus de substrats céramiques DPC (Direct Plating Copper).par exemple dans les LED haute luminosité pour augmenter la longévité en raison de ses performances de rayonnement thermique élevées, les équipements de semi-conducteurs, les communications sans fil au micro-ondes, l'électronique militaire, divers substrats de capteurs, l'aérospatiale, le transport ferroviaire, l'électricité et bien plus encore.

RT-CsI950, une usine de revêtement par évaporation est appliquée au dépôt de film CsI pour les appareils d'imagerie rayons X. Il s'agit d'une technique avancée permettant d'évaporer le CsI sur l'écran pour créer des images de haute qualité.Les performances de haute résolution permettent cette application d'être extrêmement efficace et perturbatrice dans l'instrument médical, l'industrie de l'énergie nucléaire, les contrôles et inspections de sécurité, les matières de physique des hautes énergies et plus encore.

Shanghai Royal Technology a également conçu et développé avec succès le système de métallisation sous vide en aluminium de grande taille modèle cube et cylindre qui est utilisé pour le revêtement des panneaux de logo automobile.

Vivre localement, penser globalement est notre vision. Nous vivons nos activités quotidiennes selon le concept d'Integrité et Solidarité.Nous nous efforçons toujours d'innover pour créer des situations gagnant-gagnant dans notre écosystème de partenaires mondiaux.En tant que pionniers dans l'industrie des équipements de revêtement sous vide, nous ne nous sommes jamais appuyés sur les réalisations antérieures.Mais nous avons continuellement essayé d'explorer le monde en constante évolution de l'industrie du revêtement sous vide pour toujours créer des économies optimales, des avantages sociaux et environnementaux pour nos clients.

CULTURE de la technologie royale

La vision du Roi:être le fournisseur de marque de renommée mondiale de fournir des solutions totales aux clients.

Mission royale:Il s'agit d'une initiative qui vise protéger l'environnement, sauver notre planète bleue, améliorer l'environnement de travail des travailleurs, améliorer l'efficacité du travail, aider les propriétaires réduire complètement les coûts de production.

La philosophie de ROYAL:Il s'agit d'un projet qui vise améliorer la qualité de vie des personnes, être honnête, innovant et apporter la plus grande contribution la société.

La valeur de ROYAL:L'innovation, les technologies avancées et la R & D au service de la Chine et des industries manufacturières du monde entier.

Le service du Roi:Un service unique, avec une excellente technologie et des produits, un dévouement professionnel pour servir nos clients.