Machine de revêtement de cuivre de la couche mince, unité conductrice de pulvérisation de magnétron d'Au

Numéro de type:RTAS950
Point d'origine:Fabriqué en Chine
Quantité d'ordre minimum:1 jeu
Conditions de paiement:L/C, A/D, D/P, T/T
Capacité d'approvisionnement:10 jeux par mois
Délai de livraison:8 à 12 semaines
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Adresse: ZONE INDUSTRIELLE DE LA ROUTE DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINE 201613
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Machine de revêtement de couche mince de cuivre, Usine conductrice de dépôt de pulvérisation de couche mince d'Au, système argenté de revêtement de pulvérisation


CuivreCouche sous vide par pulvérisation cathodique magnétron


1) La contrôlabilité de l'épaisseur du film et la bonne répétabilité peuvent constituer un système fiable d'épaisseur pré-plaquée des films et de pulvérisation dans une plus grande surface de film uniforme;

2) L'adhérence du film et du substrat est très bonne.Une partie de la haute énergie des atomes pulvérisés pour produire différents niveaux de phénomène d'injection, une couche de pseudo-diffusion formée sur la couche de substrat d'atomes pulvérisés et des atomes de substrat fusionnés les uns avec les autres ;

3) Préparation du matériau spécial du film, vous pouvez utiliser différents matériaux et film hybride de pulvérisation, film composé, peut également être pulvérisé dans le film d'or imitation TiN.


CuivreSpécifications de la coucheuse sous vide par pulvérisation magnétron


Machine de revêtement par pulvérisation magnétron
PerformanceRTSP-700RTSP-900RTSP-1000RTSP-1250RTSP-1400RTSP-1600
Taille de la chambre de revêtement700*H900mm900*H1100mm1000*H1200mm1250*H1350mm1400*H1600mm1600*H1800mm
Type d'alimentationAlimentation filament, alimentation polarisation d'impulsion, alimentation magnétron CC, alimentation magnétron fréquence intermédiaire, alimentation magnétron radiofréquence, source d'ionisation linéaire
Structure de la chambre videDouble porte verticale, structure de porte avant verticale, système d'échappement d'air arrière
Matériau de la chambre videCavité en acier inoxydable de haute qualité
Limiter le vide6.0*10-4 Pa
Temps de pompage ( vide)Pomper l'atmosphère 8.0*10-3>Pa ≤15 minutes
Système d'acquisition de videPompe diffusion ou pompe moléculaire + pompe Roots + pompe mécanique + pompe palettes rotatives (le modèle spécifique peut être configuré selon les exigences du client)
Mode de revêtementRevêtement de pulvérisation magnétron
Genre de filmFilm métallique, film réactif, film composé, film multicouche et film semi-conducteur
Type de cible magnétronCible magnétron rectangulaire, cible magnétron cylindrique et cibles magnétron double
Puissance d'alimentation du magnétron et nombre de cibles magnétronSélectionnez selon différents processus de revêtement et les exigences du client
Alimentation de polarisation10KW/1 unité20KW/1 unité20KW/1 unité30KW/1 unité40KW/1 unité50KW/1unité
Mode de rotation du plateau tournant de la pièceRévolution planétaire et autorotation, régulation de vitesse fréquence variable (contrôlable et réglable)
Gaz de procédéSystème de contrôle et d'affichage du débit de gaz de procédé 3 ou 4 voies, système de gazage automatique sélectif
Mode de refroidissementMode de refroidissement par circulation d'eau, tour d'eau de refroidissement ou refroidisseur d'eau industriel ou système de refroidissement profond.(Fourni par les clients)
Mode de contrôleMode d'intégration manuel/automatique, opération d'écran tactile, PLC ou commande d'ordinateur
Pouvoir total30KW35KW40KW50KW65KW80KW
Alarme et protectionAlarme manque d'eau, surintensité et surtension, circuit ouvert et autres conditions anormales des pompes, cibles, etc. et exécuter les mesures de protection pertinentes et la fonction de verrouillage électrique
Zone d'équipementL2m*L3mW2.5m*L3.5mL3m*L4mL4m*L5mW4.5m*L6mW5m*L7m
Autres paramètres techniquesPression de l'eau ≥0.2MPa, température de l'eau ≤25°C, pression atmosphérique : 0.5-0.8MPa
RemarquesLa configuration spécifique de l'équipement de revêtement peut être conçue en fonction des exigences de processus des produits de revêtement


Veuillez nous contacter pour plus de spécifications, Royal Technology est honoré de vous fournir des solutions de revêtement complètes.


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