AlN Chips Copper Sputtering Depostion System, machine de électrodéposition directe d'en cuivre de nitrure en aluminium

Système de déposition de pulvérisation de cuivre AlN Chips, machine de pulvérisation de cuivre PVD au nitrure d'aluminium

Résultats

1. Pression de vide ultime: supérieure 5,0 × 10^-6Je suis l.

2Pression de fonctionnement sous vide: 1,0 × 10^-4Je suis l.

3Temps de pompage: de 1 atm 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minutes (température ambiante, chambre sèche, propre et vide)

4Matériau métallisant (pulvérisation + évaporation par arc): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, etc.

5Modèle de fonctionnement: entièrement automatique / semi-automatique / manuel

La structure

La machine de revêtement sous vide contient le système complet clé énuméré ci-dessous:

1Chambre sous vide

2. Système de pompage vide rugueux (ensemble de pompes rétroaction)

3Système de pompage haute pression (pompe moléculaire suspension magnétique)

4Système électrique de commande et de fonctionnement

5Système d'installation auxiliaire (sous-système)

6Système de dépôt

Caractéristiques clés de la machine de revêtement par pulvérisation de cuivre

1Il est équipé de 8 cathodes d'arc de direction et de cathodes de pulvérisation en continu, de cathodes de pulvérisation en MF, d'unité de source d'ions.

2. couche multicouche et co-dépôt disponible

3Source ionique pour le prétraitement de nettoyage au plasma et dépôt assisté par faisceau ionique pour améliorer l'adhérence du film.

4- unité de chauffage des substrats en céramique/Al2O3/AlN;

5Système de rotation et de révolution du substrat, pour revêtement une face et revêtement deux faces.

Fabrication de revêtement par pulvérisation par magnétron Cooper sur substrat céramique rayonnant

Le procédé DPC- Direct Plating Copper est une technologie de revêtement avancée appliquée aux industries LED / semi-conducteurs / électroniques.

Dépôt de film conducteur de cuivre sur des substrats Al2O3, AlN par technologie de pulvérisation sous vide PVD, comparé aux méthodes de fabrication traditionnelles: DBC LTCC HTCC,Le coût de production beaucoup plus faible est sa caractéristique élevée.

L'équipe de technologie royale a aidé notre client développer le processus DPC avec succès avec la technologie de pulvérisation PVD.

La machine RTAC1215-SP conçue exclusivement pour le revêtement de film conducteur de cuivre sur des copeaux de céramique, des cartes de circuits en céramique.

Veuillez nous contacter pour plus de détails, Royal Technology est honorée de vous fournir des solutions complètes de revêtement.

Shanghai Royal Technology Inc. a été créée en 2006, un fournisseur mondial d'équipements de vide de haute qualité avec des sites clés dans le monde entier.La technologie de recherche et développement est soutenue par des ingénieurs spécialisés aux États-Unis et en Chine.Les installations de fabrication de machines de haute technologie sont situées Shanghai et notre réseau mondial de centres de service assure une réponse rapide au service la clientèle dans les principaux endroits.

Shanghai Royal Technology a une forte volonté de conception innovante et de sélection de composants de haute qualité,combiné un processus d'assemblage très minutieux et une équipe de techniciens et d'inventeurs talentueux., qui nous permettent d'offrir des solutions de revêtement clés en main avec des équipements sous vide de haut niveau, répondant et dépassant souvent les normes occidentales.Nous sommes déterminés servir le marché mondial dans diverses industries telles que:

L'électronique grand public, l'automobile, les énergies renouvelables, l'architecture, les nanomatériaux et les matériaux biomédicaux.

Modèle RTAS, l'équipement de série intégré arc et pulvérisation peut produire des films noirs et bronzes très réfléchissants spécialement pour les revêtements décoratifs de haute qualité.

RTSP1200-FCEV, Il s'agit d'un système de pulvérisation avec procédé PECVD pour déposer un film mince sur les modules d'alimentation pile combustible hydrogène.Les véhicules pile combustible sont la dernière technologie pour la prochaine génération de voitures écologiquesLe principal avantage et le progrès technologique par rapport aux batteries couramment utilisées comme les piles sèches nécessitent un processus de recharge récurrent.mais les modules d'alimentation pile hydrogène ne nécessitent que la réaction hydrogène et oxygène pour générer de l'énergie pour la conduite.

RTSP1200-DPC,Ce système de revêtement est utilisé exclusivement pour le processus de substrats céramiques DPC (Direct Plating Copper).par exemple dans les LED haute luminosité pour augmenter la longévité en raison de ses performances de rayonnement thermique élevées, les équipements de semi-conducteurs, les communications sans fil au micro-ondes, l'électronique militaire, divers substrats de capteurs, l'aérospatiale, le transport ferroviaire, l'électricité et bien plus encore.

RT-CsI950, une usine de revêtement par évaporation est appliquée au dépôt de film CsI pour les appareils d'imagerie rayons X. Il s'agit d'une technique avancée permettant d'évaporer le CsI sur l'écran pour créer des images de haute qualité.Les performances de haute résolution permettent cette application d'être extrêmement efficace et perturbatrice dans l'instrument médical, l'industrie de l'énergie nucléaire, les contrôles et inspections de sécurité, les matières de physique des hautes énergies et plus encore.

Shanghai Royal Technology a également conçu et développé avec succès le système de métallisation sous vide en aluminium de grande taille modèle cube et cylindre qui est utilisé pour le revêtement des panneaux de logo automobile.

Vivre localement, penser globalement est notre vision. Nous vivons nos activités quotidiennes selon le concept d'Integrité et Solidarité.Nous nous efforçons toujours d'innover pour créer des situations gagnant-gagnant dans notre écosystème de partenaires mondiaux.En tant que pionniers dans l'industrie des équipements de revêtement sous vide, nous ne nous sommes jamais appuyés sur les réalisations antérieures.Mais nous avons continuellement essayé d'explorer le monde en constante évolution de l'industrie du revêtement sous vide pour toujours créer des économies optimales, des avantages sociaux et environnementaux pour nos clients.

CULTURE de la technologie royale

La vision du Roi:être le fournisseur de marque de renommée mondiale de fournir des solutions totales aux clients.

Mission royale:Il s'agit d'une initiative qui vise protéger l'environnement, sauver notre planète bleue, améliorer l'environnement de travail des travailleurs, améliorer l'efficacité du travail, aider les propriétaires réduire complètement les coûts de production.

La philosophie de ROYAL:Il s'agit d'un projet qui vise améliorer la qualité de vie des personnes, être honnête, innovant et apporter la plus grande contribution la société.

La valeur de ROYAL:L'innovation, les technologies avancées et la R & D au service de la Chine et des industries manufacturières du monde entier.

Le service du Roi:Un service unique, avec une excellente technologie et des produits, un dévouement professionnel pour servir nos clients.