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1. Groupe d'Assemblée
Le four de revêtement de CVD se compose de six parts : établi, chambre de réaction, couverture de chauffage, couverture de refroidissement, grue de rail, condensateur.
Les systèmes principaux sont circuit de refroidissement de refroidissement, système de pompe, système de &pipeline de tube gaz, système aérodynamique et système de contrôle électrique.
2. Environnement de travail d'usine
2,1 humidité et température ambiantes
2.1.1 humidité ambiante : <90% ( +35°C)
2.1.2 température ambiante : 5℃~40℃
2,2 alimentation d'énergie
2.2.1 alimentation d'énergie : 380V±10%, 50Hz, système cinq fils triphasé
2.2.2 alimentation d'énergie de contrôle : 210V~250V, 50Hz, monophasé
2,3 source d'air
2.3.1 pression d'air comprimé : 6-7bar,
2.3.2 pression de l'AR : 2-3bar,
2.3.3 pression et écoulement de H2 : 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 pression et écoulement de N2 : 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 pression et écoulement de Co : 2-3bar, 0-2.5slm
2.3.6 pression et écoulement de CO2 : 2-3bar, 0-5slm
2.3.7 pression CH4 et écoulement : 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 pression et écoulement de HCL : 2-3bar, 0-5slm
2.3.9pressionetécoulementde H2S: 2-3bar,0-0.4slm
2,4 source d'eau
2.4.1 pression d'admission de l'eau de refroidissement : 2-3bar, l'eau pure est recommandé. La température est 13-16°C. (des clients doivent être équipés avec de l'eau effrayant), l'écoulement d'eau de refroidissement, 5m3/h.
2.4.2 source d'eau de réserve de secours (être préparé par l'utilisateur)
Pression : 1.5bar-2bar.