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Pompe de Maglev, CXF-250/2301, ISO-K/CF, refroidissement par l'eau bord
Les pompes moléculaires par magnétisme faites de la lévitation sont les pompes dont shafting est soutenu en vertu de la force magnétique, répondant des exigences d'application pour des champs de la fabrication moderne de semi-conducteur, de la fabrication de puce, de l'électrodéposition industrielle et des instruments scientifiques.
Technologies :
Les avantages :
Ceci pompe ont les avantages, tels que le frottement nul lors du fonctionnement, et la consommation de puissance faible, faciles d'acquérir le vide poussé vraiment propre et le vide très poussé sans lubrification pour des pompes, capable d'extraire les gaz corrosifs pour la sécurité long terme et élevée et longue la durée de vie dues la protection des incidences avec les boules en céramique de précision et de la fonction génératrice de puissance en cas de puissance- soudaine. Il a des advatages en tant qu'exempt de frottement, de pollution et d'entretien et avec la basse vibration, et peut être installé dans n'importe quelle orientation.
Applications :
L'extraction des gaz corrosifs existant dans gravure l'eau forte, CVD, PVD et implantation ionique et gaz s'est facilement coagulée la température normale dans les domaines de la fabrication de semi-conducteur, de la fabrication d'agrafe, de l'électrodéposition industrielle et des instruments scientifiques, particulièrement .
Caractéristiques :
Modèle | CXF-250/2301 |
Vitesse de pompe (l/s, air) | 2200 |
Taux de compression | >1×107 |
Vide final (PA) | ≤2×10-7 |
Bride d'admission | DN250 OIN K (LF) |
DN250 OIN F | |
CF D'OIN DN250 | |
Bride de débouché | KF 40 |
Vitesse de rotation (T/MN) | 30000 |
Temps de point fixe (minute) | 8 |
VIB (millimètre) | <0.05 |
Pompe de support (L/s) | 15 |
Support ou ientation | Quels |
Méthode de refroidissement | L'eau |
Poids (kilogramme) (avec le contrôleur) | 58 |