Vibration par magnétisme faite de la lévitation CXF-320/3000E de pompe à vide de Turbomolecular basse

Les pompes moléculaires lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grce la force magnétique.

Les pompes moléculaires lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.

Le palier électromagnétique est également appelé "ours lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.

Les avantages:

1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs long terme

4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine

6. Sans frottement

7. Libre de pollution

8. Libre d'entretien

9. Basse vibration

10. installé dans n'importe quelle orientation.

Les technologies:

• Technologie de contrôle pour roulement magnétique: Lévitation magnétique 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement opportun au moyen de la technologie de contrôle de suspension magnétique active circuit fermé dynamique basée sur la théorie de contrôle internationale avancée, de manière garantir les avantages significatifs de l’arbre grande vitesse comme fonctionnement stable et fiable.
• Technologie de contrôle d'entraînement: Un moteur courant continu haute vitesse haute efficacité et un système de servocommande sont appliqués aux pompes lévitation magnétique en série, afin de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, fonctionnement fiable et fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
• Technologie des rotors composites en fibre de carbone: Les turbomachines des pompes moléculaires suspension magnétique en série sont fabriquées en mélangeant un alliage d'aluminium haute résistance et de la fibre de carbone légère. Comparés tous les rotors en alliage d'aluminium, les turbo-rotors se caractérisent par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de sorte que des objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée sont atteints.
• Technologie de résistance la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires suspension magnétique en série sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont complètement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
• Système de contrôle de la température de chauffage: Les pompes moléculaires de la série lévitation magnétique sont équipées d’un réchauffeur électrique et d’un régulateur de température, de sorte que l’eau de refroidissement, le chauffage air pulsé, le chauffage électrique et la chaleur véhiculée par les gaz de protection les pompes peuvent être maintenues une certaine valeur long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.

Caractéristiques:

Applications:

Les pompes moléculaires lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés température normale.

La TECHNOLOGIE Cie., Ltd de KYKY, a été fondée en 1958, le pionnier de la technologie de vide et optique électronique en Chine. Pendant les dernières 60 années, KYKY a été consacré fournir les solutions complètes de vide aux clients partout dans le monde.

KYKY a inventé le premier ensemble de pompe moléculaire de Turbo, de détecteur de fuite commercial d'hélium et de microscope balayage électronique en Chine.

KYKY offre des solutions, la consultation et des services de technologie de vide nos clients. Les produits principaux sont appliqués dans les domaines des sciences de la vie, de l'ingénierie de médecine, de l'industrie automobile, de l'espace, de l'industrie énergétique, des matériaux de construction, de la décoration moderne, de l'électronique grand public extrémité élevé, etc.

Dans l'esprit de l'innovation de technologie et de l'orientation de client. KYKY contribuera sans interruption au développement ultérieur dans l'industrie du vide de la Chine.

La TECHNOLOGIE Cie., Ltd de KYKY a beaucoup d'années des expériences la R&D et la fabrication des produits de génération de vide, y compris les pompes moléculaires de série, les stations de pompage moléculaires de série, les pompes d'ion de série, les soupapes vanne de série et les contrôleurs de soutien.

Depuis développer la première pompe moléculaire verticale in 1970 de turbo, KYKY oriente toujours

au marché axé sur les besoins, vise répondre l'exigence de nos clients, et lance sans interruption des produits nouveaux dans l'esprit d'entreprise de se développer sur l'innovation, séquentiellement KYKY lance les pompes moléculaires de turbo de série lubrifiée, les pompes moléculaires graisse-lubrifiées de série et les CXF-séries par magnétisme faites de la lévitation

pompes moléculaires.

Des pompes moléculaires de KYKY sont largement appliquées pour équiper des champs des spectromètres de masse et des analyseurs extérieurs, au pelliculage optique, au panneau d'affichage, gravure l'eau-forte d'ion, la fabrication de disque, aux piles solaires et aux entreprises d'éclairage, et aux institutions académiques et aux instituts de R&D. En vertu de l'excellente représentation coûtée, ces produits gagnent la bonne réputation de la majorité d'utilisateurs. Des produits de haute qualité sont dérivés de notre percée et poursuite techniques continues de qualité.

KYKY fournira constamment de meilleurs produits et des services de qualité pour des clients par notre innovation continue, passion et

engagement.