Vibration par magnétisme faite de la lévitation CXF-320/3000E de pompe à vide de Turbomolecular basse

Number modèle:CXF-320/3000E
Point d'origine:La Chine
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Détails du produit
Pompe Maglev, CXF-320 / 3000E, refroidissement Waterr, ISO-F, contrôleur externe

Les pompes moléculaires lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grce la force magnétique.

Les pompes moléculaires lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.


Le palier électromagnétique est également appelé "ours lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.


Les avantages:

1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs long terme

4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine

6. Sans frottement

7. Libre de pollution

8. Libre d'entretien

9. Basse vibration

10. installé dans n'importe quelle orientation.


Les technologies:

  • Technologie de contrôle pour roulement magnétique: Lévitation magnétique 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement opportun au moyen de la technologie de contrôle de suspension magnétique active circuit fermé dynamique basée sur la théorie de contrôle internationale avancée, de manière garantir les avantages significatifs de l’arbre grande vitesse comme fonctionnement stable et fiable.
  • Technologie de contrôle d'entraînement: Un moteur courant continu haute vitesse haute efficacité et un système de servocommande sont appliqués aux pompes lévitation magnétique en série, afin de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, fonctionnement fiable et fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
  • Technologie des rotors composites en fibre de carbone: Les turbomachines des pompes moléculaires suspension magnétique en série sont fabriquées en mélangeant un alliage d'aluminium haute résistance et de la fibre de carbone légère. Comparés tous les rotors en alliage d'aluminium, les turbo-rotors se caractérisent par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de sorte que des objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée sont atteints.
  • Technologie de résistance la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires suspension magnétique en série sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont complètement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
  • Système de contrôle de la température de chauffage: Les pompes moléculaires de la série lévitation magnétique sont équipées d’un réchauffeur électrique et d’un régulateur de température, de sorte que l’eau de refroidissement, le chauffage air pulsé, le chauffage électrique et la chaleur véhiculée par les gaz de protection les pompes peuvent être maintenues une certaine valeur long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.

Caractéristiques:

Bride (en)DN250 ISO-F
Bride (Out) KFDN50
Vitesse de pompage (L / s)N 2 : 3000
Ar: 2750
Il: 2300
H 2 : 1100
Ratio de compressionN 2 : 10 8
Ar: 10 8
Il: 10 4
H 2 : 10 3
Pression ultime (Pa)FC: 1 × 10 -6
ISO-K / F: 6 × 10 -6
Max. Pression continue sous vide (Pa)40
Max. Pression avant videN 2 : 290
Gaz tout au long (sccm)N 2 : 5800
Ar: 2200
Il: 4300
H 2 : 3100
Vitesse de rotation (tr / min)21000
Temps de montée (min)≤18
Type de refroidissement, standardEau
Consommation d'eau de refroidissement (L / min)1
Température de l'eau de refroidissement ()20
Connexion électrique: tension (V CA)220
Modèle de contrôleurCXF-3000
Poids (kg)70

Applications:

Les pompes moléculaires lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés température normale.

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Vibration par magnétisme faite de la lévitation CXF-320/3000E de pompe à vide de Turbomolecular basse

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